连环可解也
专利类型:实用新型专利
发明人:宋亚峰,杨超普,曹娜,宋如普,苏淑英,宋亚光
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车险信息共享平台申请号:CN201720575271.9
黑河学院学报编辑部
申请日:20170523
轻兵器俱乐部公开号:CN206992077U
公开日:
20180209
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本实用新型公开了一种可在不同衬底块同步生长的两用MOCVD衬底架托盘结构,包括石墨托盘、衬底架外框片槽、衬底外框安装留槽、衬底架石墨外框、石墨衬底架、方形片槽、衬底块安装留槽、方块衬底,圆形衬底和石墨垫片,与现有技术相比,本实用新型让生长人员可以根据自己的需要,既可以将已经切割成块的衬底直接生长外延结构,也可以照传统的方法在一整块圆衬底上先生长完外延结构再切割,而且还可以将不同衬底在相同条件下生长的外延结构同时进行材料测试和器件性能测试的对比,新旧工艺非常兼容,而且很便于生长者根据实际需要选择方案生长及研究不同衬底对生长结果的影响等问题。 cip数据申请人:商洛学院,宋亚峰
地址:726000 陕西省商洛市商州区北新街10号
国籍:CN
代理机构:北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人:汤东凤