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一种用于电阻加热式MOCVD反应室的加热装置[发明专利]

专利名称：一种用于电阻加热式MOCVD反应室的加热装置专利类型：发明专利

笛卡尔乘积发明人：李志明，赵丽丽，过润秋，张进成，冯兰胜第六届cctv模特大赛

申请号：CN201811275118.X

申请日：20181019

国家安全委员会成员>poco电子杂志

公开号：CN109207964A

公开日：

20190115

多巴胺受体激动剂

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明的一种用于电阻加热式MOCVD反应室的加热装置，包括基座，基座包括圆柱形的导热体，导热体内底部开有若干个同心且深度不同的环形卡槽，每个环形卡槽内均设置有一个环形的加热电阻，环形卡槽和加热电阻的排布采用自带流体与热传导方程的多物理场仿真软件进行仿真，并将热传导模型与流体模型进行耦合计算得出。本发明的有益效果是：本发明通过调节加热电阻的产热量，并调节环形卡槽的尺寸，使导热体表面的温度分布均匀性提高。

申请人：济南大学

地址：250000 山东省济南市南辛庄西路336号

国籍：CN

电话台灯

本文发布于:2024-09-22 21:24:21，感谢您对本站的认可！

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