三氯轻硅的合成
工艺工序流程图
氢气能自燃，但不助燃，在高温时能燃烧，易爆炸，遇火或700℃高温时产生爆炸，产生大量的热。在多晶硅生产中一般要求气体的纯度在99。999%以上。其中含氧量要小于5ppm，水的露点要低于-50℃以下。 氢气的制备与净化工艺：
电解氢→回火器→除油器→Ni-Cr接触剂除氧器→水冷器→深冷器→（两套）→粗氢↑→Ni-Cr接触剂除氧器→水冷→硅胶→硅胶→分子筛→分子筛→粗过滤→精过滤→纯氢储罐
在电解槽内经电解脱盐水制得氢气（2H2O=2H2+O2）。电解制得的氢气经过冷却、分离液体后，进入除氧器，在催化剂的作用下，氢气中的微量氧气与氢气反应生成水而被除去。除氧后的氢气通过一组吸附干燥器而被干燥。净化干燥后的氢气送入氢气贮罐，然后送往氯化氢合成、三氯氢硅氢还原、四氯化硅氢化工序。
闰年 墨西哥版 电解制得的氧气经冷却、分离液体后，送入氧气贮罐。出氧气贮罐的氧气送去装瓶。气液分离器排放废吸附剂、氢气脱氧器有废脱氧催化剂排放、干燥器有废吸附剂排放，均给
供货商回收再利用。
3.1.2的气化
, r) t. I9 ?- {化工技术论坛 赠人玫瑰 手有余香的分子量为71，熔点-101.6 ℃，沸点-34.6℃，常温下呈黄绿气体，气体密度3.21克/升。在空气中不燃烧，但有助燃性。在日光下与易燃气体混合时会发生燃烧甚至爆炸。对空气的相对密度为2.45，比空气重，泄漏的常常滞留在地面。
/为剧毒物质，在空气中的最大允许浓度为1mg/m3。其职业性接触毒物危害程度等级为II级。属于高度危害，能严重刺激皮肤、眼睛、粘膜；高浓度时，有窒息作用；可引起喉肌痉挛、粘膜肿胀、恶心、呕吐焦虑和急性呼吸道疾病，如咳嗽、咯血、胸痛、呼吸困难、支气管炎、肺水肿肺炎等；还能刺激鼻、口、喉，随浓度升高引起咳嗽直至引发喉肌痉挛而导致死亡。人吸入最低致死浓度为LCLo：2530mg/m3/30min或500ppm/5min。
气化工艺：
储槽中的依靠液下泵送至气化器内，气化器通过离心泵送来的循环热水加热使转化为气体，通过气化器上的压力传感器调节进水流量，来调节蒸发量使气化器压力稳定在0.6MPa左右。气化器通过底部排污口定期排污至废气缓冲罐内，5 Z6 u" l. [% O* B- Y+ Y" u化工技术论坛 赠人玫瑰 手从气化器出口排出的通过调节法进入缓冲罐. }& @' L& I3 E3 G- ebbs.hgbbs从缓冲罐出口排出的送至氯化氢合成工序。
气化一般设置1＃，2＃两个钢瓶组，为一开一备，每个钢瓶组有12个钢瓶。从1组12个钢瓶中同时放出，经各钢瓶对应支管上的转子流量计汇入总管，然后流入汽化器C-001的盘管内，被流经管外的热水加热后进入汽化器内筒汽化。汽化器也是两台，一开一备。出汽化器的经缓冲罐F-001后送去氯化氢合成的缓冲罐。
氯汽化器底部残液管上安装有取样阀，定期检测汽化器中的成分，当NCl3的含量达到40g/L时，切换汽化器，将汽化器中的残液排放到排污罐F-002中，再进入碱液罐F-007中鼓泡中和。残液处理完后把F-007种的废液排放到碱液池。
钢瓶向汽化器输送是利用钢瓶中的汽化增压完成，需向钢瓶表面喷淋循环水(热水)，该循环水通过地沟回流到循环水收集池，然后用泵J-003A/B(一开一备)输送到板式换热器C-003，加热后的热水再用于钢瓶喷淋。
汽化器的热水来自热水槽F-006。脱盐水补充到F-006中，用低压蒸气鼓泡直接加热，加热后的热水通过泵J-006A/B(一开一备)输送到汽化器，换热后的热水则回到F-006中。
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3.1.3氯化氢合成
氯化氢(HCl)分子量36.5，密度1.63克/升，是无具有刺激性臭味的气体，极易溶于水，在标准条件下1体积水中可以溶解500体积的HCl气体，仅次于NH3(700)，形成的HCl饱和溶液比重为1.19。干燥的HCl腐蚀性较小，而HCl溶液(盐酸)却有强腐蚀性，原因是在水分子的作用下HCl发生了电离，产生大量的H+；H金梅子+可与多种物质发生置换反应特别是和金属。因此，为了使设备不受盐酸腐蚀，有更长的使用寿命，生产HCl应该用于干燥的氢气和反应。
图4氯化氢合成工艺流程图
从氢气制备与净化工序来的氢气和从合成气干法分离工序返回的循环氢气分别进入本工序氢气缓冲罐并在罐内混合。出氢气缓冲罐的氢气引入氯化氢合成炉底部的燃烧。从汽化工序来的经缓冲罐，也引入氯化氢合成炉的底部的燃烧。氢气与的混合气体在燃烧出口被点燃，经燃烧反应生成氯化氢气体。合成炉内，与氢气反应按下式进行H2+Cl2→2HCl+43.83卡
溴代环丙烷陈宇翱出合成炉的氯化氢气体流经空气冷却器、水冷却器、深冷却器、雾沫分离器后，被送往三氯氢硅合成工序。
为保证安全，本装置设置有一套主要由两台氯化氢降膜吸收器和两套盐酸循环槽、盐酸循环泵组成的氯化氢气体吸收系统，可用水吸收因装置负荷调整或紧急泄放而排出的氯化氢气体。该系统保持连续运转，可随时接收并吸收装置排出的氯化氢气体。并设置一套主要由废气处理塔、碱液循环槽、碱液循环泵和碱液循环冷却器组成的含氯废气处理系统。必要时，缓冲罐及管道内的可以送入废气处理塔内，用氢氧化钠水溶液洗涤除去。该废气处理系统保持连续运转，以保证可以随时接收并处理含体。
3.2三氯氢硅合成工序
终极人类 纯净的SiHCl3 常温下是无易挥发的透明液体，带有强烈气味，密度约为1334kg/m3，沸点31.5℃。其自燃点230℃，爆炸上限92.1%，爆炸下限6.6%。其蒸汽会对眼角膜、嘴、鼻表皮及呼吸道产生刺激，引起喘息。在高浓度时会产生痉挛至死亡。流到皮肤上会引起不可痊愈的溃疡。危险等级为2级。SiHCl3的性质很活泼，能与水等多种物质反应。
三氯氢硅合成工艺流程：
原料硅粉经吊运，通过硅粉下料斗而被卸入硅粉接硅粉蒸汽干燥池。硅粉从接收料斗放入下方的硅粉电感干燥池，经用热氯化氢气置换料斗内的气体并升压至与下方料斗压力平衡后，硅粉被放入下方的硅粉计量罐。供应料斗内的硅粉用安装于料斗底部的星型供料机送入三氯氢硅合成炉进料管。三氯氢硅合成反应是一个放热反应，所以应将反应热及时导出，保持炉内反应温度相对稳定，以提高产品质量和收率。
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