工站
工具工具台灯
细沙皮、无尘布
吸盘
、刀片吸尘器、刀片
4 确认光控，晶控，APS
5 选程序
膜料APS COIL APS 偏压温度蒸发速率8 取产品TI3O5
1.25--1.35A
桡骨100V
120℃
0.35nm/s
9 清洁腔体
SIO2 1.45--1.55A 150V 120℃0.8nm/s
光度计，翘曲
平台，塞尺
填写相关记录
轻拿轻放，两个人共同确认
膜料水平与坩埚口齐平
直接影响产品外观直接影响产品翘曲
在更换阳极筒的同时，用手电筒检查APS内部，如有异物，应清扫两人共同确认，要打开程序确认主要参数，见本SOP左下角 清洗和镀膜的间隔时间超过2小时，或者发现玻璃表面有脏污，必须重工清洗
人员进入喷砂房作业后需至更衣室更换干净手套，并在风淋室清
洁后方可进入镀膜区如果人手足够，第一步入站检查和第二步腔体清洁可以同时进行，但是在准备上片的时候，机台必须清洁保养完毕，吸尘器关闭
背对真空室门，开门，然后等半分钟再进行操作。防止吸入氮气造成的身体不适。在开门前应确保polycold处于待机状态，如果还在制冷状态，应先按F4-S3除霜
坩埚挡板及护板,APS阳极筒每炉更换一次，polycold护板和APS保护锡纸每两炉换一次
WOC IR 镀膜标准作业书
页 次
2014-11-5
制作部门
1350镀膜机、吸尘器，刀片、勺子、吸盘，光度计，翘曲平台，塞尺，细沙皮
备注
WOC镀膜
机种
待镀膜产品
文件编号初版发行日期新版发行日期
B22/2WOC 事业部
QT-WI-OCR-102005
中国知识网文 件 名 称版 本2012-11-1210.1 每炉取光控片和1片wafer测试上、中、下三处的光谱曲线，每炉每片测试翘曲。10.2 每炉取2片监控片，做三次回流焊。
10 产品检测
品质注意事项说明
1. 程序和镀膜面必须两人共同确认并做相应记录；
2. 腔体清洁应本着从上到下，从里到外的顺序操作；
3. 不镀膜的时候，须保持抽真空状态。
2 腔体清洁，更换膜料及相关挡板
3.1 如图8，左右旋转一下套环确认套环的一个脚朝上两个脚朝下。2.3 如图5，更换sio2膜料，再用吸尘器对着头部位吸的同时，用刀片刮掉脏膜料，取下用过的硬膜料，并添加新膜料，压平。6.1 按照9-10的方法和顺序放置新的产品到伞架上。注意用手在下面托着，以免掉落。在放置前必须先确认镀膜面和打标位置。
7.2在etching阶段调整光控信号到最大值。
1.2 核对流程卡，核实玻璃数量及批号，确认清洗时间。在台灯下确认玻璃外观。
项目
金山网镖6
IR镀膜作业流程图
1 入站检查
1.1 镀膜机准备就绪后，在黄光区交接镀膜产品。
7.3 如图14，镀膜中如果出现报警，立刻用鼠标按下F1里面的 S1(Stop)后，通知技术员或工程师解决。2.1 如图1-3，开门。如果有镀好的产品，按照图2--3的方法和顺序取下产品，注意用手在下面托着，以免掉落。5.1 如图11，选择产品工艺条件需要的膜系，参照(WLO 1350镀膜机台膜系对照表）进行。
1.4 在黄光区交接完产品后，将产品通过传递箱移到镀膜区，准备上片。
2.2 如图4，依次取下坩埚挡板及护板、polycold护板APS离子源保护锡纸。
双翅目蠓科2.4 如图6，清扫ti3o5膜料，再用吸尘器对着头部位吸的同时，用刀片刮掉脏膜料，用吸尘器吸除坩埚内的脏膜料。
1.3 确认阳极筒和绝缘陶瓷环是否有进行清洁，如果没有，需对阳极筒喷砂后，再用无尘布蘸酒精擦拭干净；对陶瓷环用细沙皮打磨后，再用氮吹净。
4.1 放置光控片，确认晶振片寿命，低于90%的更换新的，更换阳极筒。
2.5 如图7，依次盖上坩埚护板及挡板，polycold护板。更换APS锡纸。
单面IR镀膜重点参数(设定值）
8.按照第2步的顺序和要求取产品。9.清洁腔体，关门抽真空。
7 镀膜及监控数据
7.1 关门，点start开始运行。
7.4 在镀膜的时候，出现离子源波动，应立即停止镀膜，待调整稳定后才能镀膜。
7.5等到镀完膜后，腔体门自动打开。
选程序
皮革化学品F7-RECIPE
图13
图9图5
图1
图2
图3
图4
图14
图12
图10
图8
图7
图6
图16
图15
图11
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