操作名称:菲希尔电解式膜厚仪操作指引 Operation 客 户:/ Customer 产品名称:/ Part Name 产品编号:/ Part No. | 文件编号: Document No 版 本: 第 V1 版 Revision 日 期:2020-10-26 Date |
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版 本 Revision | 更 改 内 容 Revision Details | 生效日期 Effective Date |
第V0版 | 初版发行 | 2020-10-26 |
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一、适用范围:
永刚公司测试室菲希尔电解式膜厚仪
二、目的:
规范膜厚仪的使用方法,为测试结果能真实反映生产状况作保障
三、使用方法:
总 则:
COULOSCOPE CMS 测试仪器是一个功能非常强大而操作比较简便的仪器。使用时的一个原则是多看显示屏上的提示,根据它的提示一步一步的去做,这往往事半功倍;其二,要注意软键功能的变化,在不同的程序中有不同的功能;其三,许多功能都是由MENU菜单来开启,随后皆有提示,可按部就班的进行。 1、屏幕右上角显示当前时间,下面依次显示当前应用程式的信息:例如最薄可测厚度thmin=0.30um, 电解速度Deplating rate 2.OOum/min, 修正系数Corr.fact:1.00。
2、中间左半部分是当前应用程式的形象图解说明,右半部分显示测量数值。
3、最下面一行显示当前应用程式的编号和名称,例如Appl20: APPL.NO.20, 数据总数N_tot=15. 4、右边为相应软键的功能,按 BLOCK RES.可以显示单个数据组的统计值;按 EVALUATE 可以查看单个或多个数据组的统计值以及SPC图、∑图;用上下箭头可以翻看测量数据。
㈡、基本操作
1. 设立应用程式,例如多层应用0.5umCr/4umNi/lOumCu/Fe:
按NEW APPL→挑一个空的序号,例如5,即输入数字5→武林风柏晶
ENTER→用上下箭头选择镀层数Select number of coatings, 例如3 coatings→CONFIRM→选择测量顶层镀层Cr/Ni的程式和电解速度 (电解速度根据实际镀层厚度选择,一般电解时间控制在 1 分钟左右), 按PAGE软键可以翻页,依据本例选16即输入数字16→CONTINUE→选择垫圈gasket的尺寸,例如Φ1.5 (yellow) →CONFIRM→选择测量中间层 Ni/Cu 的应用程式 43,输入数字43 →CONFIRM→选择垫圈gasket的尺寸,注意:同一个应用程式,只能用一种垫圈尺寸,所以还选Φ1.5 (yellow)→CONFIRM一选择测量里层镀层Cu/Fe的应用程式33, 输入数字33→CONFIRM一选择垫圈gasket的尺寸Φ1.5mm (yellow)→CONFIRM, 这时可以看到刚才建立应用程式的信息,请核对是否正确,按ENTER键可以跳到下一个项目,按数字2, 8键可以切换当前选项→CONFIRM→这时可以更改应用程式的名称,按数字2, 4, 6, 8键可以选择所需字符,按ENTER CHAR软键可以输入选定字符→CONFIRM, 回到测量状态,应用程式已建立。
注:也可以建立Cr、Ni、Cu三层每一层独立的测试模式,方法和以上步骤相似,在选择镀层数时选择1 coating 即可。
2. 选择应用程式:SELECT APPL
因为该仪器可测量各种镀层体系,故针对要测量的镀层,可使用 APPL.No.键来挑选当前要使用的应用程式。
3. 校准:CAL
按CAL→INPUT STD(软键)→将标准片的标称值输入小框内→CONFIRM→按START键开始测量→CONFIRM→校准完成,返回测量状态。先把修正系数Corr.factor重置为1.00。
4. 修改应用程式:MODIFY APPL
测量时,如果仪器停不下来 (漏液肯定停不了), 可以修改突变电压。
按MODIFY APPL→NEW△U软键→CHANGE软键→输入密码159, 并用ENTER键确认→用数字键输入新的突变电压值△U→用ENTER键确认,移动光标位置,修改下一层的突变电压值→修改完成后用CONFIRM软键确认,返回测量界面。
5. 第一次测多层Ni电位差前的准备工作:Conditioning (给Ag参比电极镀上一层AgCl)
①. 将STEP测量槽放在随仪器配的Conditioning平板上。
请注意 Conditioning 过程,测量槽必须放置在不导电的物体上!
②. 往测量槽内注入F22药水。
③. 检查连接线。其中接地线必须断开,测量槽和STEP TEST INPUT插口之间的电缆线必须接上。
④. 依次按MENU、数字1、7和禤沛钧ENTER键。
⑤. 按软键 START 开始 Conditioning 程序,这个过程将持续30秒。
⑥. 结束后按 END 软键,返回到测量模式。
注:长时间不用或没有将测量槽储存在F22药水中,AgCl镀层将消失,此时需重新执行Conditioning程序;曲线很粗糙或不准时也需执行Conditioning程序。
㈢通过MENU菜单键进行内部设置的一些操作:
0. Set Up New Application 新建应用程式
和按NEW APPL键的效果是一样的。
1. Modify Application修改应用程式
等同于MODIFY APPL键, MENU→1→ENTER。
2. Delete Appl.Measurement Data删除应用程式内的数据
MENU→2→ENTER(警告:所有的数据将被删除)→按DEL软键执行删除,按ESCAPE取消操作→返回测量面。
3. Copy Application复制应用程式
MENU→3→出现已有的各个APPL现代智力七巧板→选APPL 的序号,例如“8” →8→ENTER→出现New Application Number→输入一个空位,例如:20→ENTER→在20 的位置上将出现一个程序8 的COPY。
4. Delete Application删除应用程式
夺命连线 MENU→4→ENTER→选一个要删除的程式(例如程式6, 注意,无法删除当前应用程式)→6→DEL (软键)→警告→DEL (该程式6 已被删除)→回选择界面,可进行另一次的删除。如要返回测量状态→MEAS OK。
5. Change Application Name 改变应用程式名称
APPL→选择要操作的程式→MENU→5→ENTER→用2、4、6、8箭头选择要的字母→Enter Char.软键→组成新的名称→Confirm回到测量界面。
7. Enter Block Size 确定数据组大小
MENU→7→用软键ON/OFF确认要不要设置→在 Automatic Block Result 的框内显示 (X)则表示要自动分组→用ENTER 转到数值框内→键入需要数组多大的这个数→Confirm回到测量界面。
8. Delete Measurement Data Block 删除测量数据组
MENU→8→用↑↓或PAGE 软键选择→按软键DEL→警告→软键DEL→软键CONTINUE回到测量界面。
9. Select Print Form 选择打印格式
MENU→8→用↑↓ 选择所需要的→用软键Enter跳转→用软键 Confirm回到测量界面。
10. Output to Printer 打印输出
MENU→10→用↑↓可选择打印单个数据和或数据组→Confirm 回到测量界面。
11. Enter Specification Limits 设置上下限
MENU→ll→用软键ON/OFF确认要不要设置→在 Lower Limit和 Upper Limit框内设置数值→用 Enter 键在框内转换→用 confirm 键确认→回到测量界面。
12. Measurement Data Display 测量数据显示 (显示测量期间内部参数,如电压或波形)
MENU→12→用↑↓可选择 ① Numeric measurement display 数值显示→ ② Graphic measurement display 波形显示→用 Enter 键在框内转换→用 confirm键确认→回到测量界面。
13. Display Format 显示精度
MENU→l3→用↑↓选择→用 confirm 键确认→回到测量界面。
14.Beep ON/Off 测量时的鸣叫声的打开与关闭
MENU→l4→选开ON或关OFF。
15. Adjust Brightness 调整亮度
MENU→15→调整显示屏亮度和对比度。
16.Time to fill/empty 设置复位时间
MENU→15→调整复位时间。
四、注意事项:
1、测量前务必:检查所用应用程式是否正确;
检查所用垫圈是否正确;
检查所用药水是否正确;
检查接地线和其他连接线是否接好。
2、测量后务必:清洗测量槽,防止电极腐蚀;
①清洗测量头,保证出气孔清洁畅通:先把测量头放到清水中按Start一致性检验键空测一会儿洗去残留电解液,再放空气中空测一会儿,喷出残留液体并用清水冲洗测量头,然后擦干;