本文采用直流磁控溅射的方法在透明玻璃衬底上制备掺铝氧化锌
(ZnO：Al，AZO)薄膜，系统研究不同衬底温度对 AZO 薄膜热电性能特性的影
响。实验结果表明：所制备的薄膜均呈现出 N 西安体育学院学报型热电半导体特性。在所制备的
样品中，当衬底温度为 250℃时，薄膜样品的电导率具有最大值，为 1.35 乘以 105S/m，但该样品的塞贝克系数较小；当衬底温度达到 400国家公司℃时，所制得的薄
膜样品在测试温度为 503K 时，塞贝克系数绝对值和功率因子达到最大，分别为
96LV/K 和 712 乘以生物多样性 10-4 W/mK2。不同衬底温度条件下沉积的 AZO 薄膜均呈现
出六方纤锌矿结构，具有明显的 c 轴择优取向，随着衬底温度的增加，薄膜表
面颗粒致密度增加，结晶情况改善。通过表面形貌和剖面分析可知：与其他薄
膜样品相比，衬底温度为 400℃时，薄膜样品出现更明显的柱状生长趋势，微结
构的改变可能是使该薄膜样品热电性能改善的重要原因之一。
类
随着世界环境污染和能源危机的加剧，能源紧缺是当今世界所面临的重
大挑战，如何将低品位热(如工业废热余热、地热、太阳能等)转变成电能，已成
为人们越来越感兴趣的研究课题。热电材料是一种利用材料内部的载流子运动 以实现热能和电能之间相互转换的功能材料，把热能有效地转换为电能的温差
发电技术中最为核心的材料。因此，近年来，热电薄膜材料成为新材料领域的
研究热点。
氧化锌是一种典型的 夏普 sh8298uN 型氧化物半导体，在室温下其禁带宽度约为
3.3eV，具有较高的激子束缚能 60meV。长期以来，对 ZnO 薄膜的研究主要集
中在压电性，透明导电性、光电性、气敏性以及 P 型掺杂方面。近年来，人们
发现通过在 紫光阁是什么机构ZnO 薄膜中掺入合适的元素，诸如 Al、Ga 或者
目前制备 AZO 薄膜的方法，主要包括磁控溅射、脉冲激光沉积、分子束
外延化学气相沉积、溶胶-凝胶、喷涂热分解法等。其中磁控溅射以其沉积速率
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