碳化硅长晶用坩埚[实用新型专利]

专利名称:碳化硅长晶用坩埚
商君书锥指专利类型:实用新型专利
发明人:李加林,李宏刚,刘家朋,李长进,孙元行,刘鹏飞,高超申请号:CN201821809442.0
申请日:20181102
公开号:CN209144318U
公开日:
柯尔特一家
20190723
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本申请公开了一种碳化硅长晶用坩埚。该坩埚包括腔室、形成该腔室的腔室壁和与该腔室壁连接的用于密封该腔室的盖子,该腔室壁包括内外两层,分别为位于内层的第一层壁,和位于外层的第二层壁,该第一层壁的外壁和外底与该第二层壁的内壁和内底之间形成具有一定宽度的空腔;该第一层壁的侧壁上设有贯穿该第一层壁的第一开孔;该第二层壁的侧壁上设有贯穿该第二层壁的第二开孔。本实用新型可以使腔室内物料区域的温场更加稳定有序,为各种气氛的传输提供了通路,消除腔室底部边角由于热量集中造成的粉料碳化,从而提高碳化硅单晶连续生长质量,提高碳化硅粉料质量及合成效率,有效降低单晶中的杂质含量及缺陷,最终显著提高碳化硅单晶质量。
申请人:山东天岳先进材料科技有限公司颜面除皱
追溯调整
地址:250100 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01
国籍:CN
钢筋混凝土代理机构:济南千慧专利事务所(普通合伙企业)
蜂窝煤代理人:吴绍

本文发布于:2024-09-22 20:19:28,感谢您对本站的认可!

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