苏州格瑞达GHG-WNDB无氧烘箱说明书

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瑞昌市一中1.在外延片表面上涂覆光敏BCB胶,采用光刻的方法在外延片表面形成光敏BCB胶图形;
2.采用等离子体反应刻蚀处理外延片表面的光敏BCB胶;大肥b
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3.将刻蚀后的外延片放入真空无氧烘箱中,通入N2→真空置换后,采用多级升温保温的方式,在规定的时间从室温升至第一温度阶段,并在该温度段保温1-2h,再在规定的时间从第一温度升至第二温度阶段,并在该温度段保温一定的时间;
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滚动转子式压缩机4.随后增通过辅助的降温系统(水冷和风冷),将退火炉的温度降至80度左右,完成固化。哪种动物会飞?

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