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一种金刚石与GaN晶圆片直接键合的方法[发明专利]

专利名称：一种金刚石与GaN晶圆片直接键合的方法专利类型：发明专利

革命军人核心价值观

发明人：刘丽蓉，王勇，丁超

申请号：CN201611073490.3

申请日：20161129

华沙公约

公开号：CN106783645A

公开日：

20170531

当李晓峰成为sky

专利内容由知识产权出版社提供

陈布雷摘要：本发明公布了一种金刚石与GaN晶圆片进行直接键合的方法，该方法包括如下步骤：(1)对金刚石和GaN表面进行有机清洗、RCA清洗；(2)对GaN表面进行O气等离子体处理；(3)对金刚石表面进行H2气等离子处理；(4)将两者在无水乙醇中进行贴合；(5)将贴合好的样品放置在键合机中进行高真空环境下键合。

申请人：东莞市广信知识产权服务有限公司，东莞华南设计创新院

地址：523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑13栋6楼607室

国籍：CN

代理机构：广东莞信律师事务所

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代理人：王青松

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