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Nikon 光刻机 2.装置的手动操作

2. 装置的手動操作

進行装置的維護(清掃及注油)等時、有時需要使用手動操作NSR的各部分。

此章主要説明手動操作Wafer stage及Reticle stage的方法。

為了実行手動操作、需要使用DIAGNOSE指令内的BACKUP。

此BACKUP還包含以下所示的手動操作以外的功能。

① 手動操作Stage

・Wafer stage

・Reticle stage

② 確認軟件的状態

・讀入Unit状態

・顕示Unit軟件的版本

・顕示MCSⅡ的版本

③ 装置各部分的単独動作

・確認自動対焦平行平板玻璃的動作

・各種快門的Open/Close動作

・Stage等的界限範囲駆動

・曝光快門的単独動作(測定実際曝光時間)

・Wafer的OF信号的確認動作

・確認Stage各部的復原及真空的動作

2.1 Stage的手動操作

説明Wafer stage及Reticle stage的手動操作的方法。

2.1.1 手動操作的実行順序

① 選択DIAGNOSE指令

② 選択BACKUP。

③ 選択MANUAL OPERATION。

④ 進行Wafer stage的手動操作

・此画面所顕示的時点、

Wafer stage的手動操

作己処于使用可能的状

態。可以通過操縦杆移

動Wafer stage。

・而且、還可以将Wafer

stage或Reticle stage

移動到指定位置。

(詳細内容請参照2.1.2 ~ 2.1.3)

想要結束手動操作時、按下PF2鍵、按④ ~ ①的順序回到指令菜単。

2.1.2 位置指定方法

実行MANUAL OPERATION時、可以按以下順序将Wafer stage高速移動到指定位置(位置指定)。

① 移動光標

将光標移動到2.Wafer Stage

Position項目上。

② 指定位置

由表2-1所示的(1) ~ (21)中、

指定想要移動Wafer stage的

位置。

(各位置的詳細内容請参照表

2-1)

③ 按下PF1鍵

通過按下PF1鍵、Wafer

stage移動到②指定的位置。

由位置指定Wafer stage高速移動後、可以通過操縦杆進行手動操作。

表2-1

氟化镁

選択項目	Wafer stage的移動位置
(1) FRONT-RIGHT=LP	铸造设备与工艺将Wafer stage移動到右前面
(2) FRONT-LEFT	将Wafer stage移動到左前面
(3) BACK-RIGHT	将Wafer stage移動到右後面
(4) BACK-LEFT	将Wafer stage移動到左後面
(5) STAGE-CENTER	将Wafer stage移動到中央
(6) MIRROR-POSI	将Fiducial mark鏡面移動到Reticle顕微鏡的下面 (参照2.1.3)
(7) LAMP-MONITOR	照射量的測量位置(LC用)
(8) ILLM-CHECK-POS	照度均一性的測定位置
(9) RA-X	将Fiducial mark移動到Reticle顕微鏡X的下面
(10) RA-Y	将Fiducial mark移動到Reticle顕微鏡Y的下面
(11) RA-T	将Fiducial mark移動到Reticle顕微鏡θ的下面
(12) LSA-X	将Fiducial mark移動到LSA光束X的下面
(13) LSA-Y	将Fiducial mark移動到LSA光束Y的下面
(14) WGA-Y	将Fiducial mark移動到Wafer顕微鏡Y的下面
(15) WGA-T	将Fiducial mark移動到Reticle顕微鏡θ的下面
(18) FIA-X	罗马规约将Fiducial mark移動到FIA顕微鏡X的下面
(19) FIA-Y	将Fiducial mark移動到FIA顕微鏡Y的下面
vissim (20) LIA-X	将Fiducial mark移動到LIA光束X的下面
(21) LIA-Y	将Fiducial mark移動到LIA光束Y的下面

* (16), (17)為空欄

2.1.3 Reticle系統的観察方法

Reticle顕微鏡装有快門等、通常的情況下不能観察。

超市通過Reticle顕微鏡、想要観察Fiducial mark或Reticle alignment mark時、需要打開Reticle

快門等。

① 指定打開Reticle快門

将光標移動到1. Reticle

shutter & Aperture & RA

sensor項目上。

② 確認快門打開

確認括号内的顕示是否由

OFF変成ON。

OFF : Reticle快門関閉

ON : Reticle快門打開

③ 将観察系統切換到Reticle上

操作操作台上的按鈕、使顕示

器顕示出Reticle顕微鏡的画

定滑轮和动滑轮面。

・按下ITV按鈕。

・按下RETICLE按鈕。

・顕示器切換成Reticle

顕微鏡的顕示画面。

若再一次実行① ~ ③的操作(顕示由ON変成OFF)、則可以関閉Reticle快門。

2.1.4 操作台的使用方法

(1) 操縦杆

是駆動Wafer stage或Reticle stage的操縦杆。

可以駆動X / Y /θ三個方向。

可以使用右側的操縦杆駆動X/Y方向、左側的操縦杆駆動θ方向(回轉方向)。

本文发布于:2024-09-20 16:26:04，感谢您对本站的认可！

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