去除光刻胶的方法以及再生光刻胶的方法[发明专利]

专利名称:去除光刻胶方法以及再生光刻胶的方法专利类型:发明专利
发明人:钟联盛,魏其宏,林信旭
数字信号发生器
申请号:CN200510089655.1
申请日:20050808
公开号:CN1912749A
德隆系公开日:
苏拿
倒频
20070214
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:一种去除光刻胶的方法,该方法在整个光刻胶移除的过程中并不使用等离子体,而以第一溶液对光刻胶层进行第一移除步骤。然后,以第二溶液对光刻胶层进行第二移除步骤,以完全去除该光刻胶层。其中,第一溶液与第二溶液的极性不同,且第一溶液的极性大于第二溶液的极性。
申请人:联华电子股份有限公司
地址:台湾省新竹科学工业园区
国籍:CN
幸福交响曲代理机构:北京市柳沈律师事务所
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本文发布于:2024-09-23 16:14:16,感谢您对本站的认可!

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标签:光刻胶   方法   专利   北京市   溶液   移除   去除
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