光刻机（Mask Aligner）⼜名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。异物志
光刻机是⼲什么⽤的？如字⾯意思，就是把我们想要的芯⽚，再通过设计师设计出规格之后⽤光学技术刻在晶圆上，其实和洗相⽚的意思有点接近，⽤光学技术把各种各样形式的电路刻在晶圆从⽽使之后的⼯艺顺着刻出来的样⼦继续加⼯。⼀⽚晶元以12⼨为例⼤概可以⽣产成品⼏百到⼏千不等的⼩芯⽚，⽽不是要将⼿机那么⼩的芯⽚⼀⽚⼀⽚刻出来的，如果真这样那效率太慢了光刻机是芯⽚产业中*昂贵且技术难度**的机台，好⼏亿⼀台都是随便的。因为它是整块芯⽚的主题和框架。家庭百科>linpack
光刻机的⼯作原理是要经过硅⽚表⾯清洗、烘⼲、旋涂光刻胶、⼲燥、对准曝光、去胶、清洗、转移等众多⼯序完成的。经过⼀次光刻的芯⽚还可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯⽚，线路图的层数就越多，⽽且也需要更精密的曝光控制过程。 光刻机⼀般是⽤在激光上，下⾯以在玻璃上刻蚀图形为基础，介绍光刻机的⼯作原理： 银川市商业银行
MMCLOUD光刻机⼀般是⽤在激光上，下⾯以在玻璃上刻蚀图形为基础，介绍光刻机的⼯作原理：
1、清洗玻璃并烘⼲，⾸先准备⼀块玻璃，玻璃的⼤⼩可以根据需要裁减，然后将玻璃清洗⼲净烘⼲，备⽤。
2、在玻璃上涂覆光刻胶，光刻胶有正性和负性之分。
3、⼲燥，采⽤固化⼲燥机让玻璃挥发液体成分，⼲燥的⽬的是为了玻璃进⼀步加⼯的需要。
4、曝光，曝光的⽅式有很多种，⽐如激光直写、通过掩模板同时曝光等都可以。
5、去胶，去胶的⽅法也很多，⽐如放在刻蚀剂中，⽤正性胶的话，被光照到的地⽅就会被溶解，没有光照到的地⽅光刻胶保留下来，到这⾥就已经在光刻胶上刻蚀出了所需图形。
生态环境大数据技术6、清洗，去胶结束后，对玻璃进⾏清洗。
7、转移，转移的⽅法也有很多，可以采取离⼦束轰击，光刻胶和玻璃同时被轰击等等，光刻胶被轰击完后，暴露出来的玻璃也被轰击，就把光刻胶上的图形转移到玻璃上。这样就完成了。
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议