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改善光刻胶与基底粘附度的光刻方法[发明专利]

专利名称：改善光刻胶与基底粘附度的光刻方法专利类型：发明专利

发明人：陈瑶，王波

申请号：CN201910499184.3保健食品管理办法

申请日：20190610

反刍动物营养学公开号：CN110161803A

公开日：

20190823

专利内容由知识产权出版社提供

ANNALS

摘要：本发明提供了一种改善光刻胶与基底粘附度的光刻方法，涉及光刻工艺技术领域，本发明提供的改善光刻胶与基底粘附度的光刻方法包括对基底进行烘烤；将烘烤后的基底进行匀胶处理；对匀胶后的基底进行曝光处理；对曝光后的基底进行曝光后烘；对曝光后烘的基底进行静置冷却；对基底进行显影。本发明提供的改善光刻胶与基底粘附度的光刻方法无需使用基底表面增粘剂，通过匀胶前对基底的烘烤，以及曝光后的烘烤以及烘烤后的静置冷却，能够有效的提高了基底与光刻胶之间的粘附度，满足工艺要求，无需额外增加设备模组。职来职往赵雪

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申请人：浙江水晶光电科技股份有限公司

地址：318000 浙江省台州市椒江区星星电子产业区A5号(洪家后高桥村)

国籍：CN

长春职业技术学院沈代理机构：北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：李青

本文发布于:2024-09-21 01:48:13，感谢您对本站的认可！

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