实 验 报 告
课程名称: 现代物理实验
专 业: 物理教育
学 号: 050103106
姓 名: 戴 伟
实验地点: 现代物理实验室
实验日期: 03月10日 ~ 04月30日
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[实验目的和要求]
1.了解激光椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率的基本原理;
2.学习和掌握WJZ-Ⅱ椭圆偏振仪的基本原理和使用方法;
3.对以K9玻璃为基底的薄膜样品进行厚度和折射率的测量。
[实验器材]
JJY1分光计(包括附件)一台
椭偏装置一套(附仪器所配套软件)
[实验原理和方法]
将一束波长为的自然光经起偏器变成线偏振光,再经1/4波片使它变成椭圆偏振光入射到待测样品的膜面上,反射时,光的偏振状态(振幅和相位的改变)将发生变化,通过检测这种变化,便可推算出待测膜的厚度和折射率。如图1所示。半导体激光器发出的单光,经起偏器后变成线偏光,线偏光再经1/4波片后产生的位相差,变成椭圆偏振光。对一定厚度的某种膜,钢铁冶金设备维护
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分量和P分量之间出现相移之差,当入射光为椭圆偏振光时,通过薄膜以后反射光为线偏振光。由此可见,由起偏器的方位角P可确定偏振光的P分量和S分量的相移之差。经样品反射后由于S波与P波不存在位相差,可合成特定方向的线偏振光。它的偏振方向由S分量和P分量的反射系数和确定。转动检偏器的方位,当检偏器的方位角A与反射光线的偏振方向垂直时,光束不能通过,出现消光状态。因此,在椭圆偏振法中采用和来描述反射光偏振状态的变化。 相移之差 (1)
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(1)式中的、是反射时各自引起的相移。(2)式中的、分别为P和S
移动ugc分量各自的反射系数。因为反射光的S和P分量因相移不同出现位相差,为了重新让它变成线偏振光,必须用附加光学元件引入一个相移补偿这个位相差。用实验测定附加光学元件引入的相移量便可以确定。
当线偏振光入射到带有薄膜的样品上,在空气与薄膜的交界面处,P分量和S分量的反射系数为:
(3)
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在薄膜与衬底的交界面处P分量和 分量的反射系数为:
(5)
(6)
式中、和分别为空气、薄膜和衬底的折射率; 、、分别为空气到薄膜的入射角,光线在薄膜中的折射角,薄膜入射到衬底的折射角。它们
之间的存在:
(7)
当光束入射到薄膜,将在薄膜内产生多次反射,并且从薄膜的两表面有一系列的相互平行
的光束射出,如图2所示,计算这些光束的干涉便可以了解薄膜的一些性质。通过有一定厚度的薄膜时,相邻两相干光的位相差
(8)
式中n 为薄膜的折射率,d为薄膜的厚度,是折射角。
总反射光是许多反射光束干涉的结果,用多光束干涉公式总的反射系数为:
(9银监会2013年8号文)
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