首页 > 学术百科

一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法[发明专利]

专利名称：一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法专利类型：发明专利

发明人：刘世元，李伟奇，张传维，陈修国

申请号：CN201310040729.7视频模块

申请日：20130131经济责任审计目标

公开号：CN103134592A

公开日：

isp服务商

20130605

专利内容由知识产权出版社提供

大胆人本艺术摘要：本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法，方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面，检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收，通过对测量光谱进行谐波分析，计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息，并通过非线性回归，库匹配等算法拟合提取待测样件的光学常数，特征形貌尺寸等信息。椭偏仪包括起偏臂(包括光源，透镜组，起偏器和伺服电机驱动的补偿器)，待测样件和检偏臂(包括伺服电机驱动的补偿器，检偏器，透镜组和光谱仪)。本发明可实现各种信息光电子功能材料和器件，以及纳米制造中各种纳米结构的在线测量，具有非破坏性，快速和低成本的特点。

申请人：华中科技大学

地址：430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

国籍：CN

光固化树脂胶代理机构：华中科技大学专利中心

代理人：曹葆青

合成化学

本文发布于:2024-09-21 18:37:09，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/xueshu/330422.html

上一篇：椭偏仪光谱浮动模型及建立方法[发明专利]

下一篇：2021年椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验报告