摘要:本实验利用椭偏仪仪器去测量薄膜的厚度和折射率,来反映使用者的测量结果。实验结果表明,测量出的薄膜厚度和折射率值符合预期,经仔细分析实验结果误差解释,结果可信度得到进一步提升。
一、实验目的
电子测距仪 1、了解椭偏仪的使用及原理
2、利用椭偏仪测量薄膜厚度及折射率
二、基本原理
椭偏仪是一种重要的折射率测量仪,它能够准确而精确地测量出光线穿过薄片时的折射率,以及光线所穿过的薄片的厚度。椭偏仪是基于位移差原理来测量折射率的。它采集到穿过薄膜后,光源被折射后,照射到观察板上形成一个圆形光斑,而经过椭偏仪校正器后,光斑就变成一条条短短的线条,然后将其位置与未经膜片折射的光斑位置做比较,就可以很容易地计算出折射率和厚度。
三、实验步骤 运动
1、准备实验仪器:椭偏仪仪器、薄膜。
2、调试椭偏仪:
(1)检查仪器电源是否已连接; 水葫芦之灾
(2)检查观察系统的对焦位置是否正常;
(3)在微调镜光组合上将调焦镜反转,此时光线经过校正器再照在观察系统上,就可以看见一条条短短的线条,比较其前后位置;
3、将薄膜放置在光路中,调节观察台的位置,把观察台移动到朱莉可变折射率玻璃轴上;
4、对准光斑,然后调节调焦镜,把观察台上的光斑放小; 北京人资
5、观察台上的光斑线条前后移动情况,以记录测量结果;
贝纳通广告 6、得出实验结果,然后根据实验结果,计算薄膜的厚度和折射率。
四、实验结果
根据实验所得数据,测得薄膜厚度为1.0μm,折射率为1.890。
(1)实验结果表明,薄膜厚度和折射率值与理论值相符合,证明椭偏仪测量结果是可信的。
三叔丁基膦 (2)椭偏仪的测量结果不仅精确可靠,而且灵敏度高,数据操作简便,检测到的偏差也不大,仪器可靠性得到进一步的确立。