椭偏仪操作规程

一.目的

使用椭偏仪测量经PECVD镀膜后的SiN膜的厚度(d)和折射率(n).

系统整合方案

二.适用范围

适用于CENTECH公司的SE 400advanced型号的椭偏仪Snaglt

三.设备主要性能及相关参数

设备型号：SE 400advanced

设备构成：

A 光学系统部分：由支架、定位显微镜、线偏振光发射器（包括激光源）、椭圆偏振光接受和分析器组成。此部分完成整个光学部分的测试。

B PC机部分。此部分完成数据的分析和输出。

四.运行前的检查

主要检查设备光学仪器部分是否损坏和电脑是否可正常使用。

廖梦雪五. 设备操作

1. 启动软件

末日星河将椭偏仪控制器和PC的电源打开，为了仪器快速可用和延长激光器寿命，推荐将椭偏仪控制器连续运转。

SE 400advanced程序通常被安装在文件夹：

C:\program files\SE 400Adv\ApplicationFrame\.

使用资源管理器或者直接双击桌面的SE 400advanced图标，启动软件。

Fig. 01: SE 400advanced图标

smw工法桩

软件打开时会自动进入上次退出时的登陆用户界面。

Fig. 02: SE 400advanced 用户认证

通过菜单"Logon"，能够添加、更改或删除用户和用户权限。

2. 用户主窗口

Fig. 03: SE 400advanced主窗口

最后一次使用的模式会被自动加载。通过菜单，工具栏或模式列表，能够选择另外的模式。

珠海振戎公司在软件界面的右下角，一个图标（2）用来显示椭偏仪控制器的连接状态，它通常显示为绿。如果显示不为绿，请检查椭偏仪和控制器之间的网络连接是否正常，并检查屏幕右下角的任务栏的网络状态。

本文发布于:2024-09-21 16:21:33，感谢您对本站的认可！

标签：部分椭偏仪控制器是否设备检查

留言与评论（共有 0 条评论）