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ITO导电玻璃是一种广泛应用于电子产品和光电器件中的透明导电材料。它具有优良的光透过率和导电性能，可以作为显示器、触摸屏、太阳能电池等器件的电极材料。本文介绍一种简单、快捷、低成本的ITO导电玻璃的电极制作方法。
一、材料准备
本方法所需材料包括ITO导电玻璃片、氧化铟靶材、氢气、氩气、玻璃清洗液、无水乙醇、去离子水等。其中，ITO导电玻璃片是制备ITO电极的基础材料，氧化铟靶材是制备ITO薄膜的原材料，氢气和氩气是制备薄膜过程中所需的气体，玻璃清洗液、无水乙醇和去离子水是清洗玻璃片的溶液。 二、制备ITO薄膜
1.清洗ITO导电玻璃片
远山的红叶主题曲 将ITO导电玻璃片放入玻璃清洗液中浸泡5-10分钟，然后用无水乙醇冲洗干净，最后用去离子水冲洗干净，将其晾干备用。
2.靶材热蒸发
将氧化铟靶材放入真空腔室中，然后抽真空至10-4 Pa以下，加热靶材至1500℃以上，使其蒸发成气态，产生氧化铟蒸汽。
传媒梦工场 3.薄膜沉积
将ITO导电玻璃片放入真空腔室中，抽真空至10-4 Pa以下，然后将氢气和氩气分别通入腔室中，使其压力分别达到5×10-3 Pa和3×10-2 Pa。接着，将氧化铟蒸汽引入腔室中，使其在ITO导电玻璃片表面沉积形成ITO薄膜。此时，ITO薄膜的沉积速率可控制在1-3 /s之间。
4.退火处理
将ITO薄膜退火处理，使其晶粒尺寸增大，提高导电性能。退火温度一般在200-400℃之间，时间为30-60分钟。退火过程中，可在氧气气氛中进行，也可在惰性气氛中进行。
5.冷却
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退火处理完成后，将ITO导电玻璃片从真空腔室中取出，自然冷却至室温，制备完成。
三、结论
本文介绍了一种简单、快捷、低成本的ITO导电玻璃的电极制作方法。该方法通过热蒸发技术制备ITO薄膜，使其具有优良的光透过率和导电性能，可广泛应用于电子产品和光电器件中。同时，该方法还可根据需要控制ITO薄膜的沉积速率和退火温度，以达到更好的制备效果。
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