(Electron CyclotronResonance,ECR)
z ECR等离子体源发展历史：
1921： 磁控管 1939：速调管
（2）二战中微波技术的迅速发展
雷达
（3）微波灶的普及 1960-1970
微波电源价格大幅度下降
（4）1970年代前期：高温核聚变等离子体微波加热
后期：日本，捷克 低温等离子体应用
（5）1980 集成电路芯片刻蚀加工：
低气压高密度等离子体源竞争
ECR,ICP.Helicon.
Hitachi, Astex.
z ECR等离子体源结构:
z 微波电子回旋共振加热原理
（a）微波ECR 等离子体内的有效电场
B 0 0
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任建宇案v v v E E ωωωω [对比] B 0=0
2死刑的存废>新城市社会学
2222
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E +=ω文汇报姜维平
特性
电子回旋频率附近，击穿电场显著降低。
实验结果：
裸持资源回旋运动角频率ωce= eB0/m e =ωwave
(b)ECRplasma 中微波传输及吸收的主要特性
---微波ECR 等离子体为各向异性介质，沿磁场方向传播的TE 波将分为右旋偏振波和左旋偏振波，散关系为：
n2R=1-(ω2pe/ (ω - ωce)ω)
n2L=1-(ω2pe/ (ω + ωce)ω)
右旋波的共振和截止条件为:
ωce/ω =1 (共振条件: n R =∞)
ω2pe/ω2=1-ωce/ ω(截止条件: n R =0)
----微波不同馈入模式的结果
低场馈入：图中路径a-----> 右旋波在低密度区截止（对应
的临界密度n crit= n c (1 - ωce/ω)
----->低密度
高场输入：图中路径b，没有高密度截止------>高密度运行条件
用什么来报答母爱
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