磁场直拉法magnetic field applied Czochralski method 根据施加磁场的方向,MCZ法可分为两种:磁场方向垂直于晶体生长轴的,称为横向磁场(HMCZ); 磁场方向平行于晶体生长轴的,则称为纵向磁场 (VMCZ)。 根据目前的实际应用效果来看,前者多应用于硅单晶生长方面,后者多用于化合物半导体单晶生长方面。作为磁体发生装置大致可分为常规磁体和超导磁体两种。前者在技术上比较简单,操作方便,但磁体的体积和耗电量都比较大;后者的磁体体积和耗电量都比较小,但一次投资大,技术比较复杂且操作不如前者 简单和方便。当前常规磁体和超导磁体均被采用。 磁场直拉法在直拉法鸟的祖先(见丘克拉斯基法)的基础上,对柑 祸内熔体施加一强磁场,使熔体无规则的热对流得到控 制。简称MCZ法。与直拉法相比,除磁体外,所用的金属络合染料 主体设备(如单晶炉等)并无大的差别。 MCZ法的基本原理为:在熔体施加磁场后,运动的导电熔体体元受到洛伦兹力作用。洛伦兹力为 F=qVXB 式中q灵溪一中教育集团为熔体体元具有的电荷,V为体元的运动速度, B为磁感应强度矢量。由洛
伦兹定律可知,穿过磁力线 如何创新社会管理运动的导电熔体内部便产生与移动方向和磁场方向相垂直的电流。此电流与磁力线相互作用,使导电熔体受到与移动方向相反的作用力,使熔体流动受到抑制。也可将洛伦兹力抑制热对流的效应理解为磁场增加了熔体的动粘度。在磁流体动力学中,常用哈特曼数M来表征 这个效应。双馈风力发电机组 材2一碘甘油(立)( 即加磁场时动粘度与不加磁场时动粘度之比。式中月 为磁导率,H为磁场强度,占为电导率,p为熔体密 度,。为粘滞系数,D为石英增涡直径。当M大于l时 就意味着加磁场时的熔体动粘度占优势。增加熔体的磁 动粘度,就提高了表征热对流开始产生的临界瑞利数 Rc Rc之7rz(召万)