office 97专利类型：发明专利
发明人：李军，胡纯栋，刘胜，许永建，蒋才超，王进芳，谢远来，盛鹏，刘智民，吴斌，谢亚红，韦江龙，梁立振fmcm
申请号：CN201510180833.5
申请日：20150416fds
公开号：CN104797071A济南铁路局
社科纵横公开日：
20150722
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种磁约束天线内置式射频离子源，主体是由真空腔体、大于等于两匝金属管绕成的天线线圈、磁体和绝缘保持架组成，所述的金属管绕成的天线线圈通过所述的绝缘保持架分隔布置在真空腔体内，在金属管绕成的天线线圈外侧布置所述的磁体，并使磁体磁极方向对着金属管绕成的天线线圈且金属管绕成的天线线圈的金属管内通冷却介质。本发明提高了射频电源效率，减少能量损耗，同时利用磁场建立对等离子体的磁约束结构，避免了等离子体直接轰击器壁，另一方面磁力线捕获损失等离子体到有冷却的天线线圈，把热量带走。布置合理，设计巧妙的兼顾到多方因素。 申请人：中国科学院等离子体物理研究所
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国籍：CN
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