感应耦合等离子体蚀刻系统及其切换式匹配装置[发明专利]

专利名称:感应耦合等离子体蚀刻系统及其切换式匹配装置专利类型:发明专利
发明人:洪再和
申请号:CN201910412317.9
申请日:20190517
公开号:CN110517942A堂堂网
天津市针织运动衣厂公开日:
20191129
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摘要:本发明公开一种感应耦合等离子体蚀刻系统及其切换式匹配装置,该切换式匹配装置包含有一射频电源输入端口、一射频电源输出端口、一匹配网络及一切换单元;其中该切换单元将该射频电源输入端口通过该匹配网络耦接至该射频电源输出端口,或直接耦接至该射频电源输出端口,因该匹配网络的输出阻抗与感应耦合等离子体蚀刻系统于清洁模式下的负载阻抗相匹配,于清洁模式下,该切换单元被同步切换,令该射频电源输入端口通过该匹配网络耦接至该射频电源输出端口,以提升射频电源的功率及降低反射功率,提高清洁效率。
申请人:洪再和
乳品论坛地址:新北市
2009 CHINAJOY国籍:TW
代理机构:北京律诚同业知识产权代理有限公司
>甘远志

本文发布于:2024-09-23 12:30:45,感谢您对本站的认可!

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标签:射频   端口   电源
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