3、离子辅助镀膜的薄膜特性：
1、镀层与工件表面同时存在物理气相沉积及化学反应，故镀层结合力高。
2、膜层均匀致密、韧性好；
3、光谱特性稳定，温漂小
4、吸水性减少
5、折射率升高
6、粗糙度降低
7、激光阈值降低
8、膜层发雾，光散射增加
4、离子源参数、性能比较
离子源简介－ 考夫曼离子源
一面五星红旗教学实录阴极钨丝加热发射热电子； 电子与气体原子或分子碰撞； 气体电离在放电室形成等离子体；
离子被加速电场引出、加速、获得能量； 中和钨丝产生电子；
磁场对电子运动进行约束，增加离化率；
中和电子对引出离子中和形成等离子体。
考夫曼离子源工作原理
（Kaufman Ion Source）
zcom电子杂志离子源简介－ 考夫曼离子源
优点：
栅极加速能量大
离子可聚束 能量调节范围宽 结构较为简单
缺点：
×离子源结构仍复杂×馈入氧、氮等反应气体阴极中毒
×更换阴极灯丝困难 ×不属主流，较少采用
离子源简介－ 射频离子源射频离子源工作原理
射频放电将气体电离
灾变论
在放电室形成等离子体
多孔栅极产生加速电场； 中和钨丝产生电子；
离子被加速电场引出、加速、获得能量；周文麟
中和电子对引出离子中和形成等离子体。离子源简介－ 射频离子源特点
优点：
栅极加速能量大
离子可聚束 能量调节范围宽 适用反应气体 离子束辅助主流
缺点：
×结构复杂，稳定性差 ×价格昂贵 ×栅极需经常维护 ×辐照均匀区较小离子源简介－ 霍耳离子源
阴极钨丝发射热电子向阳极迁移 电子与气体原子碰撞使其离化 磁场中电子形成霍耳电流产生电场
离子被霍耳电场加速引出、加速
阴极热电子对引出离子中和形成等离子体。
霍耳离子源工作原理
（Hall Ion Source）
离子源简介－ 霍耳离子源特点
合成绝缘子
优点：
PowerIon-C-10A 典型参数
离子束流：5 A
离子能量：20-50 eV
无栅极、结构简单、维护简单
适用反应气体 离子束辅助主流产品 离子束流大 易于控制等离子体中性 以低能大束流工作
缺点：
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
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