静电能摩托罗拉e375发明人：叶如彬，浦远
申请号：CN201310436381.3申请日：20130923
公开号：CN103474328A
公开日：国际油价负
20131225
专利内容由知识产权出版社提供
限额设计
摘要：一种等离子体处理的方法，包括：对待处理基底进行第一等离子体处理，通入第一反应气体到反应腔，第一射频功率源输出射频功率到反应腔，第一射频功率源的输出频率为第一频率；对待处理基底进行第二等离子体处理，通入第二反应气体到反应腔，第一射频功率源输出射频功率到反应腔，自动调节第一射频功率源的输出频率获得第二频率，使第一射频功率源与反应腔阻抗匹配；在第一等离子体处理和第二等离子体处理之间还包括过渡步骤，反应腔内的气体从第一反应气体转换为第二反应气体，设置第一射频功率源输出的射频功率具有处于第一频率到第二频率之间的预设频率，使过等离子保持点燃。所述等离子体处理的方法能够保持等离子体稳定，处理质量提高。 申请人：中微半导体设备(上海)有限公司
地址：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
国籍：CN
安阳榕树湾>武林风柏晶代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：骆苏华
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