?. 工作原理
CX系列射频电源是一款应用在半导体领域的高频功率放大器，他是一款等离子体发生器.其主要功能为半导体的等离子刻蚀,PECVD,PVD,溅射镀膜等提供高频等离子体激励.
射频电源内部工作原理如下:
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射频电源由5部分组成:主要包括一个直流供电电源模块,震荡电路模块,功率放大模块,射频功率检测模块,射频互锁控制模块等部分组成.
(1) 直流电源模块是为电源内部控制线路板供电,包括24V,15V等电压. (2) 震荡电路模块为晶体震荡部分，产生13.56MHZ的正弦波信号. (3) 功率放大模块是几个固态晶体管组成,主要目的是把高频信号,进行功率放大,使得输出功
率达到输出要求;
(4) 射频功率检测模块:主要为检测控制电路,通过高频测量电感检测入射功率,反射功率,把
该信号提供给主控制板,实现自动PID控制.
田中实(5) 射频互锁控制模块:主要为开关信号模式,可提供安全互锁功能.比如射频输出线互锁,高
男人体照片压互锁,射频输出互锁,过温互锁等控制功能.. 盛女为爱作战
俄罗斯国家形象片射频电源产生等离子体的原理:在一个密闭的真空压力容器内.,利用真空泵获得一定的真空度,射频被馈入到真空室内的两个极板之间.在两个极板之间产生一个交变电场,气体在电场下被电离,产生相对应的离子,带电离子被加速不断碰撞气体分子,产生级联效应,这样就产生了辉光,从而产生等离子体.
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