1. 货物名称、数量
全自动等离子体化学气相沉积装置1套。
2. 工作条件及用途
2.1 工作条件
2.1.1 能在电源电压380±10%V、50±2%Hz、室温0℃~40尊严死℃的环境下连续正常工作。
2.1.2 连续工作时间能力不应少于72城市轨道交通研究小时，设备服役期限15年。
2.2 用途
采用等离子体增强化学气相沉积技术，在光学玻璃、硅、石英等不同衬底材料上沉积二氧化硅、氮化硅、非晶硅等薄膜。
3. 技术规格
卖方所提供的全自动等离子体化学气相沉积装置必须是技术先进，经济合理，成熟可靠的产品。 本条中带*技术指标为关键指标，不允许有超标。
本装置为全自动控制工作方式，可用于在光学玻璃、硅、石英等不同衬底材料上沉积二氧化硅、氮化硅、非晶硅等薄膜。
本装置主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、自动控制系统、加热系统、冷却系统、报警系统等组成。应有自动和手动两种工作模式，在这两种工作模式下，均具有安全自动保护功能。 日向友好学校高真空泵为分子泵，真空室有恒压要求；真空室采用1Cr18Ni9Ti不锈钢制造，真空室内径不小于φ450mm，可满足样品尺寸为φ300mm的镀制要求；气路系统由六台质量流量计控制流量，气体管路采用不锈钢硬管；等离子体发生器功率源采用RF1200W射频电源，带有自动匹配器，可实现自动化控制；所有设备要求为集装式。
真空室的观察窗不少于2个；备用在线监控接口不少于2个。
3.1.1最大样品尺寸： 300mm，
*3.1.2膜厚不均匀性：≤5%（250mm内）；
≤7%（300mm内）；
*3.1.3膜厚重复性≤3%；
3.1.4 样品台旋转：0-10rpm
3.1.5样品台升降：（匀流）板-基（片）距30-60mm
3.2真空系统
3.2.1真空室直径：≥φ450mm；
3.2.2天府热线极限真空度：≤ 9.010-5Pa
*3.2.3恢复抽真空时间：从大气~4×10-3模糊时间Pa小于10分钟；从大气到5×10-4Pa小于20分钟；
*3.2.4真空测量装置范围：大气~1×10-5Pa
3.2.5系统漏率：停泵关机12小时后真空度≤5Pa。
3.2.6真空测量：宽量程真空计（用于真空监测）和精度优于1.5%的薄膜规（用于工艺真空控制，建议采用美国MKS产品）；
*3.2.7 恒压控制系统：由压力控制器、压力传感器、调节蝶阀等构成。压力控制器精度优于0.2%（建议选用瑞士VAT产品，用户可提供免税手续）；
3.3 气路系统
3.3.1质量流量控制器控制工艺气体六路：SiH4(10%)-200 sccm；NH3- 300sccm；N2-500sccm；N2O -300sccm； C2F6-300sccm；O2-300sccm；
3.3.2响应时间：≤50-60ms
*3.3.3流量控制精度：满量程的25%-100%时，≤±1%；
满量程的2%-25%时，≤±0.25%；
3.3.4质量流量计六台（建议选用进口产品，用户可提供免税手续）
3.3.5本装置气路七条，其中一条用于SiH4管路的氮气吹扫。
3.4加热系统
3.4.1加热温度：室温～500℃；
3.4.2控温精度：1%；
3.4.3温度漂移：≤2℃；
3.5射频电源
*3.5.1射频电源RF1000W及自动匹配器一套（建议选用美国AE公司产品，用户可提供免税手续）；
3.5.2有效功率稳定输出≥90%
3.5.3匹配稳定时间≤5秒；
*3.6自动控制系统
3.6.1 自动控制系统一套，实现真空系统及工艺过程全自动化；
3.6.2具有全自动模式及非全自动模式多种选择方式；
3.6.3 自动控制软件一套。
*3.7安全报警系统
3.7.1具有水、电、气、真空等安全互锁功能；
3.7.2具有工艺参数偏差报警功能。团结湖三中
3.8其它特殊要求
3.8.1在真空室预留备用在线监控接口不少于2个；
3.8.2卖方应提供用于本装置配套的尾气处理系统，净化效果达到GB16297-1996排放标准；
3.8.3卖方应提供用于本装置配套的气柜和管阀，气体管路采用不锈钢硬管；
3.8.4卖方应提供易损、易耗件的加工配件说明和全部技术资料。
4. 配置和选件
4.1 基本配置
设备主机应包括满足技术规格中第3条要求的真空系统、气路系统、射频电源系统、加热系统自动控制系统以及相关软件和满足成套性要求的其它装置等，所有装置要求为集装式。
4.2 附件及专用工具
卖方应提供用于操作、保养、维修所必要的专用工具及附件。
4.3 备件及易损件
卖方应向买方提供在设备服役期间需要更换的零部件的名称及预期的使用寿命，并提供安装、调整、运行和维护所需的最低限度备品备件。
5. 技术服务
5.1 技术文件
卖方所提供的各种技术资料(文件和图纸中均采用国际单位)应满足买方对安装调试、运行、维护和维修的要求，如果买方认为所提供的技术资料不能满足要求时，买方有权提出补充要求，卖方应免费提供所需的补充技术资料。
5.2 培训
卖方应在买方现场（西安工业大学）对三人以上人员进行安装、操作使用、维护和维修人员的培训，培训所需费用（不含学员的食宿费）均由卖方支付。
5.3 安装调试
卖方应派人到买方现场（西安工业大学）进行安装调试。买方为卖方提供必需的安装场
地、水、电、气等相关要求，为安装调试提供便利条件。
5.4 保质期内
保质期内设备发生故障，所产生的全部费用由卖方支付。
6. 验收标准和验收程序
验收标准根据合同签定的技术指标和镀膜机生产厂家提供的产品技术指标验收。
在西安工业大学安装调试后最终验收。
7. 质量保证期
安装验收合格后一年
8. 到货地点
最终到货地点为陕西省西安市西安工业大学。
9. 交货期
合同签约后6个月内。
*10. 对供货方资质要求
10.1供货方必须是已经通过国家ISO9000质量认证、有完整质量体系控制生产制造企业。
10.2供货方具有较好的制造销售业绩，需提供近三年在西北地区或华北地区或西南地区销售业绩证明。
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