专利名称：集成温湿度传感器的皮拉尼真空计及制备方法专利类型：发明专利 河北省工资支付规定
张悦然十爱发明人：关若飞，陈贵东，戴鑫，毛海央劲松六中
申请号：CN202111555262.0
申请日：20211217
公开号：CN114235267A
公开日：
福州雾霾
20220325
恐惧的总和
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及一种皮拉尼真空计及制备方法，尤其是一种集成温湿度传感器的皮拉尼真空计及制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述集成温湿度传感器的皮拉尼真空计，包括衬底以及制备于所述衬底上的皮拉尼计单元；还包括制备于衬底上的温度传感单元以及湿度传感单元，其中，利用皮拉尼计单元、温度传感单元以及湿度传感单元通过MEMS工艺集成在同一衬底上；利用皮拉尼计单元测量所在环境的环境真空度值，同时，通过温度传感单元、湿度传感单元能分别测量所述皮拉尼计单元所在环境的当前环境温度值以及相应的当前环境湿度值。本发明结构紧凑，提高皮拉尼计真空计对真空测量的准确度，同时能实现温湿度的测量。 申请人：江苏创芯海微科技有限公司
地址：214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2座112
国籍：CN
代理机构：苏州国诚专利代理有限公司
代理人：韩凤yy31
豫公网安备41160202000603
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