一，皮拉尼真空计
1.皮拉尼真空计原理
关于公立医院改革试点的指导意见加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度
由于气体粒子与 电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝 热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比
例关系
2.衍生出两种类型的皮拉尼规
1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规） 3.气体的热传导，与下列提条件有关:
1，气体类型
2，压力大小
4. 皮拉尼真空计测量范围与精度
测量范围（空气，氧气，一氧化碳，氮气）：5 x 10-4至 1000 mbar 精度(氮气): 1x 10-3… 100毫巴 ±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ±50%
脊梁颂100 ... 1000毫巴 ±50%
5. 皮拉尼真空计的优特点文曲星tc1000
灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命
6. 皮拉尼真空计具体型号
101-S 计PCG400 PCG410 PCG550
规信号
7. 皮拉尼真空计应用行业
光伏，镀膜，等离子行业 控制，如PEG100 经停产) 与
z 1，与
PSG500/PSG050 基本相同，但因为具有通讯协
z
PSG050/051 z
PSG100-S PSG z
PSG500/500-S PSG502 z
皮拉尼电容膜片复合真空1. 有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
2. 两种原理的规管全过程都工作
3. 100 mbar —1000 mbar 使用薄膜
4. 1 mbar – 100mbar 两规信号同时采用
5. 5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号
6. 输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃z
各种高真空泵的前级压力测量，如z
各种中低真空测量，如照明，冶金 z
真空连锁控制，高真空计的点火开关z
PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216 z PCG400 PCG410(现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已PSG500 基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用
娄烦二中
PSG100 PSG10议功能，在大系统中应用广泛
二，电容薄膜规CDG025D/CDG045/100/160/200
1.电容薄膜规工作原理
z压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系
z通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度
2.电容薄膜规特点
z以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成
z在严酷和腐蚀性环境中，稳定与可靠的高精度压强测量
z快速的预热和恢复时间，提高生产率
z卓越的长期稳定性，再现性和重复性
z由于电子学直接安装在传感器上，改进了温度补偿和EMC兼容性 z对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定
z快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入 准备使用状态 z一键按钮: 调零功能和设点调整
z抗腐蚀超纯陶瓷传感器
z能经受数百万次压强循环周期，包括大气压 冲击，无任何降低性能的迹象
z暴露大气压后快速恢复，无需隔离阀
z对蒸气介质不敏感
贝塔分布
z先进的传感器屏蔽 (专利)延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命 3.INFICON陶瓷技术
z陶瓷技术的优越性
1，无 “记忆” 效应
2，陶瓷无疲劳问题
3，最好的温度补偿
4，卓越的零点稳定性
z低使用成本
1.非凡的使用寿命
2.无需隔离阀
4.Sky CDG025D测量范围
纳税人权益网5.加热型薄膜规
6.加热型优点
z零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）
z更高的精度
z环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响 z比工艺更快的预热启动时间’
z快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV
z任意安装角度
z抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响
豫公网安备41160202000603
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