真空测量常用真空计真空测是是真空技术中的一个重要组成部分用于测量真空度的仪器叫真空计。真空计的种类很多，根据真空计的刻度方法，可分为绝对真空计和相对真空计。 (一)绝对真空计：通过对气体压强进行测量，经过计算后，能反映真空度的真空计，叫绝对真空计，如:U 型管真空计、压缩式真空计等。 (1)U型管真空计：利用U型管两端的液面差，来测量压强的典空计叫U型管真空计。
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lgkg70(2)压缩式真空计：又称麦克劳真空计。利用波意耳定律，将定量待测的气体，用水银或油压缩到极小体积，然后比较它的开管与闭管之间的液柱差，通过计算求得压强的一种绝对真空计。
ip调度系统(二)相对真空计：通过对与压强有关的物理盆进行侧量，但不能通过计算来进行刻度，只能与绝对真空计进行比较才能刻度的真空计，叫相对真空计，如：弹性式真空表、薄膜式真空计、电阻真空计、热偶真空计和电离真空计等。: 说出你的故事2011(1)弹性式真空表：利用弹性元件随压强变化所产生的变形，测量真空度的真空计。
(2)电阻真空计和热偶真空计：利用气体分子的热传导作用，测量真空度的真空计。
(3)电离真空计：利用气体分子在低压强下的电离现象，测量真空度的真空计。
常用真空计的分类和测量范围见下图：
(三)绝对真空计与相对真空计的比较
(1)绝对真空计的优点，是结构简单福、造价低、测量精度高，其测量值与被测气体种类无关(可凝性蒸气除外)。其缺点是操作不便，不能连续测量，用水银作介质时，水银蒸气对环境有污染。
(2)相对真空计的优点，是能连续测量真空度，并便于自动记录和用于自动控制。其缺点，是测量精度受气体种类和环境温度的影响较大，测量精度不如绝对真空计高。
真空热处理炉常用的真空计有弹性式真空表、热偶真空计、电阻真空计、电离真空计等相对真空计。现将常用的真空计工作原理简介如下:
(一)弹性式真空表：真空表内，有一由铍青钢或不锈钢等弹性材料制成的扁平截面弹簧弯管，管的一端与被测真空系统相连，另一端封死，并通过连杆齿轮与指针相连。当弹簧管内气体压强增高时，弹簧管的截面形状向圆形变化，并使弹簧管向外扩张，带动指针偏转。反之，当管内气体压强降低时，指针朝相反方向旋转。此种真空表，其真空度的测鱿范困为960托~1托。
(二)热偶真空计：热偶真空计由测量真空度的敏感元件、热偶规炸和测量仪器组成。规管见图.测量仪器，由测蚤热电势的毫伏计和规管加热丝稳压电源两部分组成。热偶规管与被测真空系统相通。热偶规管外壳为玻璃管，内部有加热丝1和热偶丝2。热偶丝的冷端和热端温度不同时，由于温差效应，在回路中有热电势产生。如加热丝电压保持恒定，则热偶丝的热电势取决于加热丝的温度，而加热丝的温度与被测气体的压强有关。如压力降低时，气体的导热率减小，被气体传走的热量减小，加热丝的温度随之升高，热偶丝的热电势增加，反之，气体压强增高时，气体的导热率增加，被气体带走的热量增加，加热丝的温度降低，热电偶的热电势减小。用毫伏表测量热电俩回路中的热电势，即可测出被测真空系统真空度的大小。
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(三)电阻真空计：电阻真空计又称皮拉尼真空计，由电阻规管和测量仪器两部分组成。电阻规管与被测真空系统相通。规管的外壳为玻璃壳或金属壳，壳内装有电阻丝。电阻丝常用电阻溢度系数较大的钨、铂、镍等金属丝。电阻丝温度升高时，其电阻值增加。反之，温度降低时，电阻值减小。电路系统保持电阻丝两端的电压恒定。如被测真空系统的气体压强降低时，气体的导热率相应减小，被气体传走的热M减小，规管内电阻丝温度升高，其电阻RP相应增加。反之，气体压强增高，Rp相应减小。其测量电路为惠斯登电桥。规管的电阻丝为电桥的一臂，RZR4是固定电阻，R3是可变电阻。电桥平衡的条件是Rp*R4=R2*R3。当Rp变化时，电桥失去平衡，不平衡电流值由微安表读出，即可测出真空度的变化。
(四)电离真空计：电离真空计是测量高真空的主要真空计。在低压强气体中，气体分子被电离所生成的正离子数与气体的压强，即气体分子的密度成正比。利用此原理制成的真空计叫电离真空计。按照产生离子方法的不同，利用由热阴极发射电子，使气体分子电离的原理制成的真空计叫热阴极电离真空计。利用在强电场和强磁场作用下，由冷阴极放电作用使气体分子电离的原理制成的真空计，叫冷阴极电离真空计。
现将热阴极电离真空计的工作原理简介如下，热阴极电离真空计，由热阴极电离规管和测量仪器组成。
测量仪器由规管工作电源，发射电流稳压装置和离子流测量放大器等部分组成。热阴板电离规管与被测真空系统相通。热阴极电离规管是一个三极管，管内有阴极、栅极和收集极。收集极电位，相对于阴极为负电位，栅极电位，相对于阴极为正电位。当电离规管通电加热后，阴极发射出电子。此电子在到达栅极过程中，同气体分子碰撞发生电离，产生正离子和电子。当发射电流一定时，正离子的数目与被测气体压强成正比。正离子被收集极收集后，经测量电路放大就可由指示电表读出被测系统真空度。
ddp(五)复合真空计：一般低真空测量和高真空测量不能用一种真空计来完成，因而采用复合真空计。目前，应用最广的是电离与热偶式复合真空计。它的测量范围为10-1~5*10-8托。10-1~10-3托低真空由热偶真空计测量，10-3~5*10-6托高真空由电离真空计测量。复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管，分别插在被测真空系统上。通过复合真空计上的旋纽，分别给两个规管加热，并选择使使用。
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