随着人们物资文明生活的不断提高，洁净技术在生产生活中的应用越来越多，它被广泛应用于微电子、半导体和精密机械等对环境有很高要求的工业制造厂房。洁净室对各项性能指标都有非常明确、严格的要求，不同的设备、工艺、安装水平对总的效能都有不同的影响，对此就需要过程完工后进行严格的竣工验收和测试，来检验是否达到要求，以便满足生产环境要求。 本文就某微电子厂房万级洁净室的各项测试项目进行简单的介绍，并结合实际对洁净系统测试过程中的注意事项进行简单说明。根据业主要求，本洁净室测试项目主要有：风量、静压差、洁净度、室内温度、相对湿度、噪声的测试。 1测试前的准备工作
（1）测试工作在系统调整好并运行至少24小时之后进行；
（2）所测试的洁净室和净化系统应再次全面清扫；
（3）任何一种测试得出的洁净度级别，必须注明测试状态。
2风量测试
2.1测试仪器
风量罩、风速仪
2.2风量测试准备
测试前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，过滤器是否干净，所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且在图纸上标注出每个风口的设计风量，如图1所示，以便于调整风量。同时选用与送风口尺寸相适应的风量罩口。
图1 风口风量标注
2.3测试方法
（1）首先通过主风管上的测定口利用风速仪测量出主风管内的风速，并按下式计算出总风量。总风量需满足设计要求。
Q=V*F*3600
式中：Q为风量（m3/h）；V电子管风琴为管道内的平均风速（m/s）；F为测定主风管的净面积（m2）。
（2）风量罩开机，并等风量罩能正常工作后才开始测试；
（3）将风量罩完全罩住所需要测试的风口，同时将风量罩与风口四周压紧；
（4）待风量罩读书趋于稳定后读取数值，读取3次测量数值，取其平均值即为该风口的风量；
（5）若风口的风量与设计风量的偏差大于允许偏差，应通过调节风口上的风阀来调整风量的大小。
2.4注意事项
（1）测量主风管风速时，测量次数应不小于3次，取其平均值作为主风管风速；
（2）风量罩测量风量时，风量罩与风口四周一定要压紧，防止漏风；
（3）测量时应从风管末端的风口逐一向前测量，以便于调整风量。
2.5判定标准
（1）系统实测风量与设计风量允许偏差为0~20%；
（2）室内各风口风量与设计风量的允许偏差为±15%。
3静压差测试
3.1测试仪器
微差压力计（仪表灵敏度不应低于2.0Pa）
3.2静压差的作用
为了维持洁净室内的洁净度免受邻室的污染，在洁净室内维持某一个高于邻室的空气压力，是洁净室区别于一般空调房间的重要特点。具有以下两个作用：
（1）在门窗关闭情况下，防止洁净室外的污染由缝隙渗入洁净室内；
（2）在门开启时，保证有足够的气流向外流动，尽量减少室外空气进入室内。
3.3静压差测试方法
（1）洁净室所有的门均关闭的条件下进行测定；
（2）由高压向低压，由平面布置上与外界最远的里面房间开始，依次向外测定。
3.4判定标准
大学诗词写作教程（1）相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa；
（2）洁净室与室外之间的静压差应大于10Pa。
4室内洁净度的测试
为了正确评价工程的施工质量，应对洁净室洁净级别进行测定。本工程按要求在静态的状态下进行测定。
4.1测试仪器
光学粒子计数器（采样速率大于1L/min）。在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率。 4.2测试方法
（1）粒子计数器应有有效的标定合格证书。室内测定人员不应超过3名，且必须穿干净洁净服远离或者位于采样点的下风侧静止不动或微动。
（2）确定最低采样点数按照表1来确定。采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度（距地坪0.8m的水平面），或者设计单位、业主特指的位置。
表1 最低限度的采样点数NL
测点数NL | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | gemini表面活性剂8 | 9 | 10 |
洁净区面积A（m2） | 2.1~ 6.0 | 6.1~ 12.0 | 12.1~ 20.0 | 硫氰酸红霉素20.1~ 30.0 | 30.1~ 42.0 | 42.1~ 56.0 | 56.1~ 72.0 | 72.1~ 90.0 | 90.1~ 110.0 |
注：1 在水平单向流时，面积A为与气流方向呈垂直的流动空气截面的面积。 2 最低限度的采样点数NL按公式NL=A0.5计算（四舍五入取整数）。 |
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（3）每个采样点最小采样量按照表2来确定。
表2 每次采样的最少采样量VS（L）
洁净度等级 | 粒 径（μm） |
0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 5.0 |
1 | 2000 | 8400 | — | — | — | — |
2 | 200 | 840 | 1960 | 5680 | — | — |
3 | 20 | 84 | 196 | 568 | 2400 | — |
4 | 2 | 8 | 20 | 57 | 240 | — |
5 | 2 | 2 | 2 | 6 | 24 | 680 |
6 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 68 |
7 | — | — | — | 2 | 2 | 7 |
8 | —路政信息 | — | — | 2 | 2 | 2 |
9 | — | — | — | 2 | 2 | 2 |
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（4）每个采样点的最少采样时间为1min。每个洁净室（区）最少采样次数为3次。当洁净区仅有一个采样点时，则在该点至少采样3次。取三次的平均值，即为该点的实测数值。
4.3注意事项
（1）采样时采样口处的气流速度，应尽可能接近室内的设计气流速度；
（2）对单向流洁净室，其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向；对于非单向流洁净室，采样管口宜向上；
（3）采样管必须干净，连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据允许长度确定，如无规定时，不宜大于1.5m；
（4）由于洁净室气流分布的不均匀和尘粒分布的不均匀，建议吧工艺布置在主流区内；
（5）主要工艺尽量布置于送风管上风段，上风段相对来说，洁净程度比下风段要好；
（6）净化处理原则：能用局部净化的场合，就尽可能不用全面净化。
4.4判定标准
每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值，见表3。
表3 洁净度等级及悬浮粒子浓度限值
洁净度等级 | 大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn（pc/m3） |
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1.0μm | 5.0μm |
1 | 10 | 2 | — | — | — | — |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | — | — |
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | — |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | — |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | — | — | — | 352000 | 83200 | 2930 |
8 | — | — | — | 3520000 | 832000 | 29300 |
9 | — | — | — | 35200000 | 8320000 | 293000 |
注：1 本表仅表示了整数值的洁净度等级（N）悬浮粒子最大浓度的限值。 2 对于非整数洁净度等级，其对应于粒子粒径D（μm）的最大浓度限值（Cn），应按下列公式计算求取。 Cn=10Nx(0.1/D)2.08 3 洁净度等级定级的粒径范围为0.1~5.0μm，用于定级的粒径数不应大于3个，且其粒径的顺序级差不应小于2012重庆高考英语1.5倍。 |
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