激光精密刻蚀机技术参数

1.用途说明：

设备加工对象主要包括聚酰亚胺等聚合物材料、陶瓷（氧化铝、氮化铝、氧化锆、氮化硼等）、玻璃、石英、磷化铟等非金属材料，以及不锈钢、铸铁、钨铜等各种金属及合金材料；

设备可对平面及曲面施行精细微加工；

设备各部件高效集成，可实现高精度钻孔、切割及表面材料刻蚀等加工工艺。

2. 系统概述:

主要构成

序号	配件	数量萤火虫祖先被发现
1	紫外激光器	1台
2	五轴运动机构	1套
3	振镜光学模组	1套
4	CCD影像系统	1套
5	光路传输系统	1套
6	防尘系统	1套
欧拉定理7	软件控制系统	1套

3. 主要技术规格及要求:

部件规格型号

1) 紫外激光器型号：Belin 生产厂家：美国技术

参数	技术指标
输出功率	7W @ 30kHz
激光波长	355nm
冷却方式	水冷
模式	TEM00
重复频率	20~100KHz
脉宽	＜25ns @ 30KHz
平均脉冲稳定性	＜2% @ 100kHz

2) 运动机构型号：非标定制生产厂家：德龙激光

设备配备有X/Y/Z轴与A/B旋转轴，用于工件位置移动与调焦，其中旋转轴用于工件向心加工。

莫理循

X轴线性机构	加工幅面： 250mm 最大速度：200mm/s 重复精度：±2um 定位精度：±3um 分辨率：0.1um
Y轴线性机构	加工幅面： 250mm 最大速度：200mm/s 重复精度：±2um 定位精度：±3um 分辨率：0.1um
A轴旋转模组	旋转角度：360° 定位精度：≤ 1arcmin
B轴旋转模组	旋转角度：360° 定位精度：≤ 1arcmin
Z轴调焦机构	最大速度：25mm/s 运动行程：100mm

*注：以上精度数据参考JIS标准。

3) 振镜光学模组型号：Intelliscan 生产厂家：德国 SCANLAB AG

项目	规格/功能
扫描速度	3000mm/s
跳转速度	14000mm/s
单次扫描范围	45mm×45mm
场镜焦距	100mm

4) CCD影像相关

旁轴影像系统（旁轴安装，用于定位）

项目	规格/说明
视野aeviou	大于0.4mm×0.4mm
像素	＞30万

5) 光路传输系统

项目	说明/规格	备注
光闸	气缸驱动	非标定制
扩束镜	355nm
	2-10倍连续可调
	发散角可调
	四维调节功能

6) 防尘系统

项目	说明
光学腔入光口	增加紫外保护镜片
光学腔密封	机械配合橡胶密封条实现完全密封
光学腔出光口	与Z轴光学部分密封连接
聚焦镜防尘	安装紫外保护镜片
设备集尘	吹、吸结合提供专业风机，保证集尘风量
平台防尘	X-Y轴独立叠加从内到位，提供三层防尘设计

7) 软件相关

功能	详述
多级管理安全操作	软件支持多级权限管理设置可按需设置为工程师模式、操作员模式，保证设备安全稳定的操作
图档导入、存储与导出功能	软件支持CAD软件DXF、DWG等格式的文档直接导入、存储或导出；
逆行性遗忘图形在线编辑	操作界面具备加工图形的编辑窗口，可对导入的图纸进行在线的增删或修改；对于用于工艺试样的图纸，软件提供基本的绘图功能，可在软件中做直接绘图
工艺专家数据库	软件可根据加工要求，对图纸不同图层的加工元素编辑不同的加工参数；对加工工艺参数具备编辑、存档、导入功能；加工参数保存与图纸名称保持一致，做到一一对应
加工演示功能	针对新品、新工艺开发，软件提供加工演示功能，即在激光器不出光的情况下，控制设备各部件参照设定参数加工，以便操作人员确定加工可能性
端口监测错误诊断	设备开机软件执行初始化，对设备激光器、平台及各I/O端口执行初检；加工过程，对平台及I/O端口执行实时监测，保证运行稳定无故障；在发现运行故障时，对应在界面“信息输出区”显示错误信息，便于排查
半自动寻焦功能	软件提供半自动寻焦，即自动在材料上加工数个单元图形，由操作人员参照最佳加工效果设定对应焦点位置，该功能亦可用于离焦加工工艺确认
振镜矫正功能	软件提供振镜矫正功能，可按需在设备维护、点检期间，提供振镜矫正功率谱密度
识别与精确定位	配合CCD影像系统对图像进行识别，实现精确的定位功能
各部件独立控制	软件可实现对平台、振镜、I/O端口做独立控制，从而实现多种加工模式
简易测量功能	配合CCD影像系统，软件可实现对加工工件进行简易的尺寸测量

本文发布于:2024-09-23 20:09:53，感谢您对本站的认可！

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