振镜延时的调节与现象(20200521133356)

振镜延时的原理与调节
一共有5种延时分别为开光延时,关光延时, 跳转延时, 扫描延时 ,曲线延时下面分别介绍
1.Laser On Delay (开光延时)下面称 LOnD
a.LOnD的作用原理和发生时间
LOnD 发生在开光时
当振镜到达指定位置后开始Mark运动,但并不同时出光而是延时LOnD后出光
示意图
图1 开光延时
这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜到达指定位置后先出光 LOnD后再开始Mark运动
b. 设置值的单位
这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)
但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,
在 Scanlab 无此限制
徒手画
c.设置过大或者过小时的情形
设置LOnD 过小时可以看到开光处产生了爆点 (产生此情形的原因是由于振镜开始运动速度低而LOnD又过小这时候出光导致激光在开始处聚集导致爆点)
图2 开光延时太小
设置LOnD 过大时可以看到开光处有一部分少刻了 (产生此情形的原因是由于振镜开始运动而LOnD过大过了很久再出光导致激光刻蚀时已经离开开始点很远导致有一部分少刻了)
图3 开光延时太大
LOnD设置一般和激光的开光状态相关一般如果激光开光状态能
量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些
2.Laser Off Delay (关光延时)下面称 LOffD
a.LOffD的作用原理和发生时间
LOffD 发生在关光时
当振镜刻蚀到达指定位置后要结束Mark运动,但并不同时关光而是延时LOffD后关光
示意图
图4  关光延时
这个值可以设为负值当设置为负值表示当振镜还未到达指定位置前LOffD的时候已经将光关闭即提前关光
b. 设置值的单位
这个值在Scanlab和Raylase单位都为微妙(us)
四川理工学院学报
但是在Raylase中此值的绝对值不能低于50,
在 Scanlab 无此限制
c.设置过大或者过小时的情形
设置LOffD 过小时可以看到关光处少刻了一段 (产生此情形的原因是由于振镜结束运动时由于指令和运动有时间差, 即指令认为已经到位但实际还未到到位, 而LOffD又过小这时候关光导致激光在结束处少刻一段)
我国名画家张善子擅长画什么图5  关光延时太小书画书录解题
设置LOffD 过大时可以看到关光处产生爆点 (产生此情形的原因是由于振镜结束运动时,振镜已经到位 , 而LOffD又过大这时候还未关光导致激光在结束处产生爆点)
图6 关光延时太大苗建中
LOffD的设置一般和扫描速度相关一般扫描速度越大则LOffD也
需要越大
3.Jump Delay (跳转延时,快跳延时)下面称 JumpD
聚合硫酸铝
a.JumpD的作用原理和发生时间
JumpD 发生在振镜跳转后
当振镜跳转到指定位置后延时JumpD的时间再开始别的运动
示意图
图7  跳转延时
这个值不可以设为负值
b. 设置值的单位
这个值在Scanlab中单位为10微妙(10us)即设置1 代表10us 最小可设0
在Raylase中单位为微妙(us)即设置  1 代表1us  但
是最小值是50

本文发布于:2024-09-22 14:18:29,感谢您对本站的认可!

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