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一种二维MEMS振镜控制方法[发明专利]

专利名称：一种二维MEMS振镜控制方法专利类型：发明专利

发明人：刘定

申请号：CN201810584679.1

申请日：20180608

弹性蛋白酶公开号：CN108803005A

厦门px公开日：

20181113

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种二维MEMS振镜控制方法。本发明通过使MEMS振镜按照李萨如曲线进行偏转，使MEMS振镜当前角度与MEMS振镜的输出电压为一定关系，利用ARM的SPI接口对MEMS 振镜的分辨率、最大偏转角度和转动频率进行配置，以及利用GPIO输出零度标志脉冲及角度标志脉冲，对现有的对MEMS振镜的驱动方法、对MEMS振镜的状态采集方法、对MEMS振镜的可配置方法和对外输出方法进行改进，可对二维MEMS振镜进行高效稳定的控制，可以简单地对二维MEMS振镜的参数进行配置，且模拟李萨如曲线进行连续扫描，使二维MEMS振镜的效率、分辨率均得以提高，并使二维MEMS振镜的使用寿命延长。

可持续发展申请人：北京大汉正源科技有限公司

染料激光

地址：100010 北京市东城区体育馆西路7号

国籍：CN资管软件开发

代理机构：北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)

代理人：李静

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本文发布于:2024-09-23 16:13:46，感谢您对本站的认可！

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