一共有5种延时分别为 开光延时,关光延时, 跳转延时, 扫描延时 ,曲线延时 下面分别介绍 1．Laser On Delay （开光延时）下面称 LOnD
a.LOnD的作用原理和发生时间
LOnD 发生在开光时
当振镜到达指定位置后 开始Mark运动，但并不同时出光 而是延时LOnD后出光
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图1 开光延时
这个值可以设为负值 当设置为负值 表示当振镜到达指定位置后 先出光 LOnD后再开始Mark运动 b. 设置值的单位
真菌恐惧症这个值 在Scanlab和Raylase单位都为微妙（us）
但是 在Raylase中 此值的绝对值不能低于50,
在 Scanlab 无此限制
c.设置过大或者过小时的情形
设置LOnD 过小时 可以看到开光处产生了爆点 (产生此情形的原因是 由于振镜开始运动速度低 而LOnD又过小 这时候出光 导致激光在开始处聚集 导致爆点) 图2 开光延时太小
设置LOnD 过大时 吉永小百合鹤可以看到开光处有一部分少刻了 (产生此情形的原因是 由于振镜开始运动 而LOnD过大 过了很久再出光 导致激光刻蚀时 已经离开开始点很远 导致有一部分少刻了)
图3 开光延时太大
LOnD设置一般和激光的开光状态相关 一般如果激光开光状态能量较强则LOnD设置也需要相应的增大一些
2．Laser Off Delay （关光延时）下面称 LOffD
a.LOffD的作用原理和发生时间
LOffD 发生在关光时
当振镜刻蚀到达指定位置后 要结束Mark运动，但并不同时关光 而是延时LOffD后关光
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图4 关光延时
这个值可以设为负值 当设置为负值 表示当振镜还未到达指定位置前LOffD的时候 已经将光关闭 即提前关光
b. 设置值的单位
这个值 在Scanlab和Raylase单位都为微妙（us）
但是 在Raylase中 此值的绝对值不能低于50,
在 Scanlab 无此限制
c.设置过大或者过小时的情形
设置LOffD 过小时 可以看到关光处少刻了一段 (产生此情形的原因是 由于振镜结束 运动时由于指令和运动有时间差, 即指令认为已经到位 但实际还未到到位, 而LOffD又过小 这时候关光 导致激光在结束处少刻一段)金融相关比率
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