专利名称：一种组合式硅片片盒装置专利类型：发明专利 发明人：任大清
申请号：CN201510044063.1
申请日：20150128
公开号：CN104576468A
公开日：脚博士
mbp>鼻渊散20150429
三星s8300c
强制循环泵
摘要：本发明涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种组合式硅片片盒装置，包括片盒体以及若干个片匣；其中，片盒体用于容纳若干个片匣，其包括片盒门、插槽以及凸起，凸起用于与片匣的锁扣相配合，以固定片匣在片盒体内的位置；同时，片匣用于容纳单枚硅片，其包括片匣小门以及锁扣，锁扣可控制片匣小门的开闭状态；当取出单个片匣时，片匣的锁扣脱离片盒体的凸起，且锁扣使片匣小门处于闭合状态；当放入单个片匣时，片匣的锁扣锁定片盒体的凸起，且锁扣使片匣小门处于可打开状态。发明在转送单枚硅片时，将单个片匣取出即可，转运过程中，既避免搬运整个片盒，同时也避免了硅片碎片或硅片受污等情况，转运便捷同时可以较好的保护硅片。申请人：上海集成电路研发中心有限公司
地址：201210 上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号
国籍：CN进坑村
代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议