万科深蓝专利名称：一种用于半导体工艺中显影后的硅片检测装置专利类型：发明专利 pm2.5杭州发明人：张运波，高海军，李昂，熊金磊
申请号：CN202010268780.3
申请日：20200408
公开号：CN111430259A
公开日：
坡度板
20200717
专利内容由知识产权出版社提供
上海往事巩俐
摘要：本发明公开了一种用于半导体工艺中显影后的硅片检测装置，包括两个平行设置的线扫相机，其内部分别包括感光元件、成像镜头；两个线扫相机的感光元件长轴平行且共线；每个线扫相机的感光元件长轴与其成像镜头的光轴垂直且共面；直线运动平台运动方向与成像镜头光轴方向平行；还包括两个反射镜和两个光源；两个光源入射至硅片后，反射光通过第二反射镜反射之后，再经过第一反射镜分别反射至两个平行设置的成像镜头。本发明提出的用于显影后检测的装置，可对显影后的硅片的图形和缺陷进行检测，提高半导体工艺的良品率，并且具有结构紧凑，高分辨率的特点。 申请人：江苏匠岭半导体有限公司
地址：215500 江苏省苏州市常熟市东南街道东南大道1150号10-1幢肖斯塔科维奇第五交响曲
舒曼童年情景国籍：CN
代理机构：常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人：滕诣迪
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
关于我们
投诉建议