新淮猪
背面减薄是一种常见的工艺步骤,主要用于减小器件的厚度,以便于在集成电路、传感器、微电机等微小元器件上进行应用。其重要工艺步骤包括:1. 初始薄化:通过机械、化学或激光等方法将整块硅片薄化至原先厚度的一定比例,以消除源头应力并提高机械可靠性。
2. 旋片:将已薄化好的硅片固定在旋片机上,以高速旋转进行磨削,进一步减小其厚度。这一步需要控制磨削深度、旋转速度、磨片材质等参数,以保证磨削的平整度和有限的晶体缺陷。犯罪中止
金融机构大额交易和可疑交易报告管理办法3. 平整化:经过旋片磨削后,硅片表面常常会出现一些凸起、斜坡等不平整现象。此时需要进行加工处理,如化学机械抛光(CMP)等方法以进一步提高表面光洁度及平整度。 成都制药一厂4. 清洗与光刻:通过清洗处理,去除对后续制程有影响的污染物等杂质,同时可进行光刻等正负图案形成工艺,同时这一步对于后续处理的影响很大。
阿基米德螺线
总之,背面减薄是一种精密加工技术,需要精细控制各个工艺步骤,以确保最终的器件能够满足规格要求,稳定可靠地工作。
>淮北师范大学学报