如何正确分辨硅片的等级分类及标准?

如何正确分辨硅⽚的等级分类及标准?注:①每家硅⽚企业的标准都不⼀样,仅供参考,②以下标准针对的硅⽚厚度为220µm。)⼀、优等品
1:硅⽚表⾯光滑洁净。
2:TV:220±20µm。
3:⼏何尺⼨:
边长125±0.5mm;对⾓150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
边长103±0.5mm、对⾓135±0.5mm;
宗修英边长150±0.5mm、156±0.5mm、对⾓203±0.5mm、200±0.5mm。
同⼼度:任意两个弧的弦长之差≤1mm。
垂直度:任意两边的夹⾓:90°±0.3。
⼆、合格品
⼀级品:
1:表⾯有少许污渍、轻微线痕。
2:220±20µm≤TV≤220±30µm。
3:⼏何尺⼨:
边长125±0.5mm;对⾓150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
边长103±0.5mm、对⾓135±0.5mm;
边长150±0.5mm、156±0.5mm、对⾓203±0.5mm、200±0.5mm。
同⼼度:任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。旋动
垂直度:任意两边的夹⾓:90°±0.5,cheapradiishoes。
⼆级品:
1:表⾯有少许污渍、线痕、凹痕,轻微崩边。
2:220±30µm≤TV≤220±40µm。
3:凹痕:硅⽚表⾯凹痕之和≤30µm。
4:崩边范围:崩边⼝不是三⾓形状,崩边⼝长度≤1mm,深度≤0.5mm
5:⼏何尺⼨:
边长125±0.52mm;对⾓150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;
边长103±0.52mm、对⾓135±0.52mm;
边长150±0.52mm、156±0.52mm、对⾓203±0.52mm、200±0.52mm。同⼼度:任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。
垂直度:任意两边的夹⾓:90°±0.8。
水陆两栖车三级品:
弓克
1:表⾯有油污但硅⽚颜⾊不发⿊,有线痕和硅落现象。
2:220±40µm≤TV≤220±60µm。
堕落新娘3:硅落:整张硅⽚边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。
三、不合格品
严重线痕、厚薄⽚:TV>220±60µm。
崩边⽚:有缺损但可以改Φ103的硅⽚。
⽓孔⽚:硅⽚中间有穿孔。
外形⽚:切⽅滚圆未能磨出的硅⽚。
倒⾓⽚(同⼼度):任意两个弧的弦长之差>1.5mm。
菱形⽚(垂直度):任意两边的夹⾓>90°±0.8。
凹痕⽚:硅⽚两⾯凹痕之和>30µm。
脏⽚:硅⽚表⾯有严重污渍且发黄发⿊。
尺⼨偏差⽚:⼏何尺⼨超过⼆级品的范围。
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>西北工业大学学报

本文发布于:2024-09-21 13:18:03,感谢您对本站的认可!

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