硅片技术规格(125×125mm)

硅片技术规格(125×125mm
同时率
特性
规格
说明
抽测比率
生长方式
CZ
不得使用物理提纯法的硅料
每根棒子抽测20片,其中若有一片不合格,加抽20
晶向
<100>±1°
型号/掺杂剂
P/B
漆膜附着力测定法
氧含量
1.0×1018/cm3
佐罗网碳含量
5.0×1016/cm3
电阻率
1.0—3.0Ω
单片电阻率不均匀性<10%
少子寿命
1.3μ南京晨光东螺波纹管有限公司s
裸片数据
几何尺寸
外形
准方
中心厚度
200±20μm
TTV
30μm
边长(开方尺寸)
125±0.3mm
直径
150±0.3 mm
弦长
83±0.8mm30±0.8mm
LmaxLmin1mm
线痕
深度<15μm
药品评价
外观质量
表面干净,不得有孪晶、裂纹、缺角、气孔、未滚圆
边缘崩边
不允许
崩边深度≤0.3mm长度0.8mm,单片崩边数量≤2个,不允许有“VTIEJIANMEN CN”形缺口的,可以放入B类品中
翘曲度
75μm
单晶硅棒参数
1、 圆棒(每根硅棒在头尾各取2mm左右的样片):
项目
要求
说明
直径
153mm
电阻率
1.0—3.0Ω
少子寿命
1.3μs
裸测数据
导电类型
P
2、 方棒:
项目
要求
说明
外形
准方
直径
150±0.3 mm
开方尺寸
125×125±0.3mm
弦长
83±0.8mm30±0.8mm
LmaxLmin1mm
表面
光滑,无刀痕、划痕、暗裂、崩边
若有磨不去的刀痕、划痕、暗裂、崩边等情况,其长度在合格长度中减去

本文发布于:2024-09-21 03:14:44,感谢您对本站的认可!

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标签:不得   长度   硅棒   抽测   单片   刀痕   暗裂   划痕
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