项目 | 方法 | 标准 | 工具 | |
外包装 | SF/03-JY-026 | 外包装完整，防摔、污、潮的措施完备 | 广丰县教育局目测 | |
外形尺寸 | 125×125或156×156见方尺寸 | |||
允许误差±0.5mm老电工老王和李小燕 | ||||
硅片对角线误差±0.5mm | ||||
MS-203 | ||||
所检每片硅片的平均厚度值：基本尺寸±20μm | ||||
所检硅片总体平均值允许误差：±10μm | ||||
硅片（同一片厚度）TTV≤30μm | MS-203 | |||
两个边的垂直度90°±0.3° | ||||
硅片无目视翘曲（翘曲度≤15μm） | 目测、塞尺 | |||
倒圆角误差≤0.5mm | 模板 | |||
外观检验 | 表面：洁净无残留硅粉，无污染、斑、颜均匀一致，无目视可见破损及针孔 | 目测 | ||
油污：面积小于20%且手套擦拭后变为较淡 | 目测 | |||
线痕深（高）度≤10μm，整个硅片最多一处线痕 | 千分尺 | |||
晶粒（多晶片）：在1cm长区域，晶粒个数小于10个。 | ||||
硅片无可视裂纹、无应力 | ||||
无明显缺角、崩边（亮点） | ||||
不允许有“V”字形缺口 | ||||
导电类型 | P型 | RT-110 | ||
碳浓度 | ≤5×1016/cm3 | |||
| 射干抗病毒注射液 氧浓度 | ≤1×1018/cm3 | |||
晶向 | （100）±3° | |||
位错密度 | 3×103个/cm2 | |||
电阻率 | 0.5～3Ω．cm | 四探针测试仪 | ||
3～6Ω．cm | ||||
少子寿命 | 单晶：≥15μs | 少子寿命仪 | ||
多晶：≥10μs | ||||
试制检验 | 单重返时间之旅 | 200μm以上厚度：试制平均效率≥16.03%，碎片率≤3.0%，G档率≤1. 5%，合格率≥93.5%，300≤批量≤2400片 | 试制检验 | |
晶 | 180μm厚度：试制平均效率≥16.03%，碎片率≤4.0%，G档率≤1. 5%，合格率≥92.5%，300≤批量≤2400片 | |||
多晶 | 200μm以上厚度：试制平均效率≥15.1%，碎片率≤3.5%，G档率≤1.5%，合格率≥93%，300≤批量≤2400片 | |||
180μm厚度：试制平均效率≥15.1%，碎片率中国图书馆学会≤4.0%，G档率≤1. 5%，合格率≥92.5%，300≤批量≤2400片 | ||||
本文发布于:2024-09-22 11:36:56，感谢您对本站的认可！
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