TTO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用磁控溅射的方法镀上一层氧化锢 锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃,还会在镀ITO层之前, 镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离了向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器 专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。 液晶显不器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此, 最终的液晶显示器都会沿浮法方向,规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀ITO层时,不同的靶材与玻璃间,在不同的温度和运动方式下,所得到的ITO层会 有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些,更容易出现“麻点”现象; 右•些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带,ITO层在蚀刻时,更容易出现直线放射型的缺划 或电阻偏高带;另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性:
ITO膜层的主要成份是氧化锢锡。在厚度只有儿千埃的情况下,氧化锢透过率高,氧化锡导 电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有 很强的吸水性,所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称“霉变”, 因此
在存放时要防潮。
ITO层在活性正价离了溶液中易产生离了置换反应,形成其它导电和透过率不佳的反应物 质,所以在加工过程中,尽量避免长时间放在活性正价离了溶液中。
ITO层由很多细小的品粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子突 破晶界时会损耗一定的能量,所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高, 电阻也增大。
ITO导电玻璃的分类:
ITO导电玻璃按电阻分,分为高电阻玻璃(电阻在150〜500奥姆)、普通玻璃(电阻在60〜150 奥姆)、低电阻玻璃(电阻小于60奥姆)。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用; 普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃•般用于STN液晶显示器 和透明线路板。
ITO 导电玻璃按尺寸分,有14”xl4"、14''xl6"、20”x24”等规格;按厚度分,有2.0mm、1.1mm、 0.7mm> 0.55mm> 0.4mm> 0.3mm等规格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN
液晶显示器 产品。
ITO导电玻璃按平整度分,分为抛光玻璃和普通玻璃。
影响ITO玻璃性能的主要参数:
长度、宽度、厚度及允差(±0.20)
垂直度(<0.10%)
翘曲度(厚度0.7mm以上<0.10%,厚度0.55mm以下<0.15%)
微观波纹度
厚度(nun) | 微观波纹度(表面形貌仪测量) |
抛光面 | 镀膜面 |
1.10 | <0.05prn/20mm | |
0.70 | <0.08prnJ20mxn | 《°孝幡臂行闩 |
0.55 | <0.10prn/20mm | |
0.40 | <015prn/20mm | M 0.2如;S湿,自/„ |
| | |
倒边
C 倒边(0.05mmW 宽度^0. 40mm)
R 倒边(0. 20minW宽度Wl.OOmin,曲率半径W50min)
倒角(浮法方向 2. 0mmX5. 0mm;其余 1. 5mmxl. 5mm)
ST02阻挡层厚度(350埃±50埃,550nm透过率N90%)
IT0层光学、电学、蚀刻性能(蚀刻液:600C 37%HCL:H267%HN03=50:50:3):见表1-1。
表1-1
| 漫迫率 (波长 550ran) | 方块电阻 | |
150A±30A | | 网)a 口 | <30 S |
150A±30A | >88% .弓尸 | <200 口 | <30$ |
200A±50A | | <150 0/0 | 100crypts攻略<30 s |
250A±50A .c | | <100 m 口 | <30$ |
卜L .,七 | >87% | < 80 E 口 | <35 s |
350 A 土犯¥技 | >85% | < 60 0/0 水电站与电力网技术 | <60 s |
| >83% | < 50 0/0 | <60 s |
450A±50A | | < 45 m 口 | <60 s |
500A±100A | >82% | < o a 口 | <60 s |
700A±100A | >81% | < 30 Q/口 | <100 s |
顽 A±100A | >80% | < 20 Q/a | <120 s |
| | | |
化学稳定性:
耐碱为浸入6000.浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后,IT0层方块电阻变化值不超过10%。
毒牙耐酸为浸入2500.依稀大地湾浓度为6%盐酸溶液中5分钟后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。
耐溶剂为在250C、丙酮、无水乙醇或100份去离了水加3分EC101配制成的清洗液中5分 钟后,IT0层方块电阻变化值不超过10知
附着力:在胶带贴附在膜层表面并迅速撕下,膜层无损伤;或连撕三次后,IT0层方块电阻 变化值不超过10%。
热稳定性:在3000C的空气中,加热30分钟后,ITO导电膜方块电阻值应不大于原方块电 阻的300%。
外观质量:
裂纹:不允许。
粘附物:包括尘粒、玻璃碎等凸起物,TN文化眼光型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度 超过0. 1mm的粘附物;STN型IT0导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0. 05mm的 粘附物。
沾污:不可有不溶于水或一般清洗剂无法除去的沾污。
面边:长X宽深度不超过玻璃基片厚度的50%;总长度W总边长的5%。
划痕:见表1-20表1-2
巨各庄中学