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远紫外222nm准分子灯及其制造方法[发明专利]

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专利名称：远紫外222nm准分子灯及其制造方法专利类型：发明专利

发明人：费里·古纳万，亨德里，尤迪·安德里炎

申请号：CN202111325699.5

申请日：20211110

公开号：CN114050103A

公开日：

20220215

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专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了远紫外222nm准分子灯及其制造方法。其中一种远紫外222nm准分子灯，包括：阳极，其至少有一个连接点连接到电源的正极；第一绝缘体，位于距所述阳极预定高度或距离处，以形成间隙或腔室；连接盖，用于将所述第一绝缘体的侧边与所述阳极连接以覆盖所述间隙或腔室；阀门，位于所述连接盖的一侧，连接所述第一绝缘体侧和所述阳极，用于将气体注入所述间隙或腔室；阴极，位于所述第一绝缘体的外表面上，其长度和/或宽度等于所述阳极，且具有金属丝网形状，并且还具有连接到所述电源的负极的至少一个连接点。本发明提供了上述其中一种远紫外222nm 准分子灯的制造方法。本发明还提供了另外一种远紫外222nm准分子灯及其制造方法。螺纹套套>光滑爪蟾

申请人：肯扎纳因达普特拉萨迪股份有限公司

地址：印度尼西亚卡里德勒斯镇卡里德勒斯村芝特拉商业区G区19号

国籍：ID

代理机构：广东捷成专利商标代理事务所(普通合伙)

代理人：宋安东

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本文发布于:2024-09-20 13:43:55，感谢您对本站的认可！

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