叶圣义徐世福桑锦凯
（宁波大学科学技术学院机械工程与自动化学院，浙江宁波315212）
摘要：针对光刻机工件台易受到微小震动而引起图像偏差的问题，对工件台定位平台的结构进行了优化设计，同时改进了工作台的调节方式，对今后光刻机工件台的研究与改进具有良好的借鉴意义。 关键词：光刻机；定位台；三轴联动
0引言
本文针对光刻机自动修改定位存在差的问题，以光刻
机工件台定位平台研究对，式光刻1:1
光刻技技子光刻技等作为理论与
技支撑，在此基上了光刻机工件台定位平台的结构
设计。结，本设计了对光刻机定
位平台的优化，优化件定位部件的设计；件式
的件与定位件位置的。时
运动方式等方，本文设计的光刻机工件台定位平台与
上的进行，了定位平台的结构三图设计。1基本理论
对定位的与了，光刻机定位光刻机的像差的，基此，本设计改了定位部件的设计件与定位件的，了定位平台的三维结构设计自平台结构设计，计机图形技3D设计、3D平台，到定位部件的优设计方。
2定位平台的三维结构设计
2.1定位平台的"331”原则
2.1.1"331”原则
“331:⑴设置三维测量系统的！、"、Z轴
上，三轴为基三。（2）设平台的！轴轨向"轴轨向面与轴所构成的重，从而两个动面与一个三共面的平台。（3）设置测头心与三条
的重合。上述工作后，锁定三轴与头的对位，三u
2.1.2总结构设计方
定位平台整结构布局示意图图1所示，设！轴驱动!向与！向工作台固定，"轴驱动"向与"向工作台固定，"向轨与！向工作台连,Z向工作台Z向导轨与"向工作台连，且Z向工作台与水平。定位由激光执行。和"向驱动系统都固定连接到！向工作台，时基平台还需要设能位移的激光器，且Z向工作台需要具有与激光器连接的目镜。三定位平台的件包括框架［、导轨、平衡分、驱动激光干涉仪“
2.2定位工作台的详细结构设计
基于设计结构，对定位工作台三维结构进行设计。
1—X"工作台；2—""工作台；3—X"测量系统;4—""导轨;
5—Z向工作台；6—Z"导轨;7—X"导轨;8—Y向测量系统；
9一X0驱动系统；10—Y0驱动系统4
图#定位平台整体结构布局
方案设计流程如下：
2.2.1Z向定位工作台设计
结构设计的角来看，有必采取措施确保引
驱动在方向上。设定驱动框架动框架的，确保引驱动的方向一致。调节Z向目透镜的调整机构，确保引对准，此
现Z向定位台的联设计。
2.2.2三维定位工作台的结构优化设计
本设计利用“331设计优化了定位平台的基本结构，步机偏心安磁流变液阻尼器重设计、工作台结构参数优化设计，现了机驱动时定子子的
对径向位移不超过0.1mm、工作台平稳移动和驱动电机负载稳定的目的。图2为工作台X向受力分析示意图。
图2工作台X向受力分析
3六自由度平台结构设计
3.1六自由度平台机构概述
六自平台上下平台、电动缸和较链组成。伺服
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