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靶材背板及其制作方法[发明专利]

专利名称：靶材背板及其制作方法专利类型：发明专利

发明人：周磊，窦沛静，张竞中

申请号：CN202011182839.3

申请日：20201029

公开号：CN112323026A

公开日：

20210205

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，流道具有进液口和出液口，流道可供冷却液流动；盖板，设置于背板主体的背面并遮盖流道；密封圈，设置于盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。使用时，可将靶材设置于背板主体的正面，使冷却液可从位于背板主体背面的流道进液口流入，从出液口流出，冷却液可将位于背板主体正面的靶材的热量带走，从而降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，进而可提升镀膜质量。此外，设置于盖板与流道之间的密封圈可对流道起到密封作用。本发明还公开了一种靶材背板的制作方法，可以使最终得到的靶材背板尺寸更为精确，且可有效减小靶材背板长期使用后的变形量。

申请人：珠海和泽科技有限公司

地址：519045 广东省珠海市金湾区联港工业区双林片区虹辉5路7号厂房3栋第一层

国籍：CN

代理机构：广州嘉权专利商标事务所有限公司

代理人：张龙哺

本文发布于:2024-09-20 13:28:20，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/4/88045.html

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