硅片清洗作业指导书

一．作业目的

对于预清洗下来的硅片，利用超声/振动，化学试剂对硅表面进行清洗的处

理，清除硅片表面杂质及油污使产品质量满足出货要求。

二．作业范围

125*125单晶硅片(6寸)，165定向单晶硅片。

三．作业流程

清洗前准备清洗甩干数据记录

其中：清洗(弱酸、高纯水、试剂A、试剂B、高纯水、高纯水、高纯水)

四．作业步骤

1.清洗前准备，把硅片按25片一篮放置于硅片篮中(必须戴手套作业，并于水中作业)，打开清水机下面进水阀门，把7个清洗槽水放满，更换药剂：

a.在弱酸槽中放置2Kg柠檬酸；

b.在药剂A、B槽中均放置2L君合达克罗JH-15A型硅片清洗药剂与1L君合达克罗JH-15B型硅片清洗药剂；

注：A药剂的使用根据不同工艺进行变更；B药剂的添加每清洗6000±500片单晶，药剂A和B两槽中必须各加1L君合达克罗JH-15A型硅片清洗药剂和0.5L君合达克罗JH-15B型硅片清洗药剂，再次到规定数量后全部更换。

2.清洗——a. 按下清洗机电源按钮，加热按钮，鼓泡按钮，调整加热升温

b. 将硅片整盒分两行放入不锈钢花篮中(为确保清洗效果，注意两行的间距)。

c. 待水温达到设定温度后，把放好硅片的花篮依次放入1—7#槽中，打开超声波，每槽分别清洗4.5—5分钟，取出放在清洗机头不锈钢台上滤干水。

3. 甩干——a. 按下甩干机的开门按钮，待上盖打开后，从花篮中取出整盒硅片放在甩干机的夹具中；

b. 同时按下两个关门按钮，直至上盖合严，按下启动按钮开始甩干；

c. 甩干机作业的参数按下表格设定

d. 240秒后甩干自动停止，按下开门按钮，取出硅片放到包装车间传递口。

五．注意事项

1.在整个作业过程中不可用手直接接触硅片，必须戴手套作业；

2.作业人员应掌握每次清洗后污片的数量，并记录在清洗机存在记录表( )中，以判断是否需要更换试剂；

3.作业人员必须时刻关注好各槽的温度，确保硅片清洗干净；

4.作业过程中5、6、7三槽高纯水必须时刻保持是流动水；

5.对于篮数少于6篮的硅片，甩干过程中必须对称放置，以防止硅片被甩破；

6.作业人员对清洗机和甩干机不定时检查，并详细记录在清洗甩干点检表( )中；

7.硅片下棒后，必须在2h内进入清洗机清洗

对于多晶而言，与单晶的基本类似，不同处在于：

注意事项：柠檬酸每3个小时换一次；

硅片下棒后，必须在2.5小时内进入清洗机清洗。

本文发布于:2024-09-20 15:24:48，感谢您对本站的认可！

标签：硅片清洗作业按钮

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