技 术 方 案
１、概述
本设备主要功能是对太阳能电池硅片进行扩散前的清洗处理，是一个集制绒、清洗处理为一体的全自动设备。兼容单多晶硅电池片绒面制备，通过实验、生产考验，改进后的多晶制绒控温方式，可获得合格的多晶绒面。 1.2 设备组成
此清洗设备主要由主体、工艺槽、移载机械手、管道系统、电气控制系统等部分组成。
1.3 设备描述
1）此设备是一个全自动的处理设备。
2）清洗工作过程由三菱FX系列PLC控制。
3）操作员通过10.4英寸彩触摸屏控制生产。
4）伺服传动机械臂，运行平稳，定位精准。
5）由移载机械手运输，经去损伤、制绒、漂洗、中和、漂洗等工艺组成一条全自动连续工作的清洗装置。
6）清洗作业员将装满工件的工件筐放置在进料台上，由移载机械手将工件筐依次送到各处理工位，对工件进行去损伤层、制绒腐蚀、清洗，然后工件由机械手移到出料台上，由作业员将工件筐取出，进行下一步 的处理。
1.4设备基本动作
→将欲处理工件放于上料传输链上
→由移载机械手依次将工件送到各处理工位
→将已经处理过的工件人工转移
２、工艺流程
2.1被清洗物
Si片125×125×0.20mm
135×135×0.20mm
156×156×0.20mm
2.2工艺流程
→上料→去除损伤层→漂洗→制绒面→漂洗→喷淋→HF→漂洗→HCL →漂洗→喷淋→下料
2.3工艺细节
材质
自动盖浓度
抽
风
1 去损伤层鼓泡 NaOH 4min 85－90℃SUS316自动盖 20% 有
2 漂洗鼓泡 DI水 4min RT PP ／／／
3 4 制绒面／
HNO3、
HF
~2min 10℃ PVDF 自动盖有
5 漂洗鼓泡 DI水 6min RT PP ／／／6
7
8
制绒面鼓泡 NaOH ~25min60－90℃PVDF 自动盖 2% 有
9 漂洗鼓泡 DI水 6min RT PP ／／／
10 喷淋／ DI水 6min RT PP 自动盖／／
11 中和／ HF 20s RT PP ／ 3~7%有
12 漂洗鼓泡 DI水 6min RT PP ／／／
13 中和／ HCL 6min RT PP ／ 3~7%有
14 漂洗鼓泡 DI水 6min RT PP ／／／
15 喷淋／ DI水 6min RT PP 自动盖／／
备注：1、表中处理时间及浓度等参数仅供参考，具体以用户操作为准。
2、序号3和4、序号6和7及8分别为多晶硅片和单晶硅片制绒
工艺槽，为并行工序，工作时选择分别进入其中一工序即可。
3、满足节拍为10min/筐。
3、设备技术参数
3.1清洗工件要求
3.1.1名称Si片
3.2.2尺寸125 ×125×0.20mm
135 ×135×0.20mm
156 ×156×0.20mm
3.1.3清洗节拍10min/筐
3.1.4清洗篮装载量300片／筐(125×125×0.20mm)
3.1.5清洗筐外形尺寸 L600×W670×H378
3.1.6机械臂最大承重 40Kg
3.2设备基本要求
1）设备形式：室内放置型；
2）设备外形尺寸：L16570×W2300×H3000；
3）电源：总功率~130KW，三相380±10％，50Hz（5线制），操作控制回路：DC24V，SOL：AC220V；
4）DI水：压力3－5Kg/cm2，流量3m3／h（max），接管口径1"；
5）冷冻水：压力3－5Kg/cm2，流量3m3／h（max），接管口径1"； 6）压缩空气：压力0.5－0.7MPa/cm2，流量10m3／h，接管口径φ8；7）氮气：压力0.3－0.4MPa/cm2，流量20m3／h，接管口径φ8；
8）环境要求：空气温度：5－40℃相对湿度：<80％。
4、设备基本组成
此清洗装置是一个全自动的处理设备。清洗工作过程由三菱FX系列PLC控制。设备主要由以下几部分组成：
z清洗主体
z工艺槽体
z移载机械臂
z上下料台
z电气控制系统
4.1清洗主体
整机为全封闭柜体式结构，在设备的底部装有活动脚轮和可调整高度的地脚，方便设备的挪动、维修、维护。
设备骨架部分采用Q235-A钢方管，方管外包5mm厚聚丙烯板保证了设备的整体强度和防酸碱性能。箱体部分全部采用10mm厚白聚丙烯（PP）板材焊接而成。
4.2工艺槽体
4.2.1去损伤槽
位置1＃槽
时间0－10min连续可调
工艺液浓度为20％的NaOH溶液
工艺液来源纯水从侧面注入
人工配液、人工浓度管理
材质 2mm厚SUS316板
工艺温度 85－90℃
加热方式直接加热
加热功率 12KW
加热电压 220V
鼓泡氮气
时间管理触摸屏直接管理时间
功能包括显示时间、设定时间、报警
时间控制范围1秒
温度管理触摸屏直接管理温度
功能包括显示温度、设定温度、报警
温度控制误差：±1度
其它配自动盖1件，工作时槽盖关闭
采用日本CKD气缸开关自动盖
型号：SCM-LB-32D-800
控制采用日本CKD4GA2000系列电磁阀
配预加热不锈钢副槽，可预先加热节约时间
豫公网安备41160202000603
站长QQ:729038198
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