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一、目的:
本工序是将脱胶完成装进花篮的硅片进行表面超声波清洗,以去掉硅片表面的油污。 二、适用范围:
本文件只适合浙江光科新能源硅片加工车间半自动超声波清洗工序。
三、物料需求:
1、装进花篮待清洗的硅片;
四、工艺流程:
装片 鼓泡(超声) 超声波清洗 纯水清洗 甩干
五、工艺步骤:
5.1 打开纯水阀门,分别给机器清洗槽内加水(水槽内全是15M纯水),三、四.五槽内水位加至110L; 5.2 打开“电源”、“加热”、“超声”开关,检查设备运行状态是否正常;
5.3
将半自动清洗机的水槽内加入清洗剂802#或JH-15型。方法如下:
| 四 | 五 |
JH-15 | A | 2400ml | 2400ml |
B | 1200ml | 1200ml |
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注意;在添加清洗液时戴好手套,将桶口察干净,以免有杂质影响清洗质量。
5.4将插好片的花篮并排放进清洗机的提篮内,每提篮内放六个花篮(见图一),
图一
5.5等清洗机水温升至设定温度后,把一、二、六、七槽的溢流打开,使槽内水保持清洁,然后将提篮放入第一个清洗槽内,启动“摆动”开关和“超声波”开关,并打开一、二槽“鼓泡”开关(三至七槽不开鼓泡),第一槽时间结束后将提篮移至第二槽,第二槽结束后,将提篮移至第三槽;重复以上动作直到七个清洗槽全部洗完毕;
注意:硅片从一个清洗槽移至另一个清洗槽要垂直提取、垂直轻放,避免碰碎或造成裂片。
5.6清洗完成后将硅片连同插片花篮横向放置装入甩干机内,花篮摆放必须保证平衡,要求对称放置;(见图二)
图二
5.7双手同时按控制面板两边的红“关门”按钮,待门完全关闭后,按绿“启动”按钮甩干,甩干过程为260秒,温度120±5℃;待控制面板上的时间归零,按开盖按钮;
5.8开盖后将花篮拿出;将甩干后的硅片整齐地摆放到硅片周转台上待检,用完的花篮、提篮整齐摆放在指定区域;
5.9每次更换清洗液后,用温度计测量升温后的水槽内温度是否与设定值一致,温差范围在±2℃;
5.10 工艺参数设置表:
| 第一槽 | 第二槽 | 第三槽 | 第四槽 | 第五槽 | 第六槽 | 第七槽 | 甩干机 |
半 自 动 | 温度 | 45±5° | 50±5° | 50±5° | 50±5° | 50±5° | 45±5° | 50±5° | 120° |
时间 | 360秒 | 360秒 | 360秒 | 360秒 | 360秒 | 360秒 | 360秒 | 260秒 |
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注意: 整个清洗过程中,严禁花篮、提篮摆放在地上。
六、技术规格和标准:
环境要求:
1 .湿度≤55%RH;
2 .温度23±3℃;
附件:
无要求;