太阳能电池片生产流程解析
一、概念
太阳能电池：就是将太阳能转化为电能的半导体器件。
二、工艺流程
太阳能电池工艺流程：清洗制绒→扩散→刻蚀→去PSG→ PECVD→丝网印刷→烧结→测试分档→分选→包装 (一)、制绒和清洗
硅片表面处理的目的：去除硅片表面的机械损伤层，清除表面油污和金属杂质，形成起伏不平的绒面，增加硅片对太阳光的吸收效率。 绒面腐蚀原理：利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌，就称为表面织构化。角锥体四面全是由〈111〉面包围形成，反应式为: Si+2NaOH+H
2O →NaSiO
3
+2H
2
↑
制备绒面的目的：减少光的反射率，提高短路电流(Isc)，最终提高电池的光电转换效率。
陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。
影响绒面质量的关键因素:1.NaOH浓度 2.异丙醇浓度 3.制绒槽内硅酸钠的累计量 4. 制绒腐蚀的温度 5.制绒腐蚀时间的长短 6.槽体密封程度7.异丙醇的挥发程度
化学清洗原理
HF去除硅片表面氧化层:
SiO
2 + 6HF → H
2
[SiF
6
] + 2H
2
O
HCl去除硅片表面金属杂质：盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与
Pt2+、Au3+、 Ag+、Cu+、Cd2+、Hg2+等金属离子形成可溶于水的络合物。
★注意事项
NaOH、HCl、HF都是强腐蚀性的化学药品，其固体颗粒、溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、呼吸道，所以操作人员要按照规定穿戴防护服、防护面具、防护眼镜、长袖胶皮手套。一旦有化学试剂伤害了员工的身体，马上用纯水冲洗30分钟，送医院就医。
(二)、扩散
太阳电池制造的核心工序——PN结(太阳电池的心脏)
扩散的目的：形成PN结
太阳能电池磷扩散方法
1.三氯氧磷(POCl3)液态源扩散
2.喷涂磷酸水溶液后链式扩散
3.丝网印刷磷浆料后链式扩散，现大多采用的是第一种方法。
POCl
3
磷扩散原理
POCl
3在高温下(>600℃)分解生成五氯化磷(PCl
5
)和五氧化二磷(P 2
O
5
),
其反应式如下: 5 POCl
3→3 PCl
5
+ P
2
O
5
(>600°)
生成的P
2O
5
在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅(SiO 2
)和磷原子，其反
应式如下:
2 P
2O
5
+ 5Si = 5SiO
2
+ 4P ↓
POCl
3
磷扩散原理
在有氧气的存在时,POCl
3
热分解的反应式为:
4 POCl
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