一种密闭式取样头的制作方法

1.本实用新型涉及取样头结构技术领域，尤其是涉及一种密闭式取样头。

背景技术：

2.光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。作为集成电路制造的关键材料，其性能直接影响到集成电路芯片的集成度、运行速度及功耗等性能。
3.目前光刻胶的取样多采用敞口取样，当室内环境洁净度不达标或气流扰动时胶液中会引入颗粒，影响光刻胶的曝光效果。再加上光刻胶对环境湿度极为敏感，环境的湿度波动会影响光刻胶的稳定性。
4.中国专利cn213456268u公开了一种负性光刻胶自动取样装置，包括主筒，主筒的底端固定连通有副筒，副筒的底端固定安装有吸盘，副筒的外侧面固定套接有固定套，固定套的底端等角度固定安装有固定杆；当需要对光刻胶进行吸取时，可通过将底座的底端与盛有光刻胶的容器内腔底端进行接触，亦可通过将吸盘与容器内腔底端进行固定，位于活动杆顶端的缓冲弹簧可以适应吸盘的形变带动活动杆相对固定杆发生位移以适应不同的工况，从而实现无需手持的优点。该专利中通过吸附将光刻胶吸取至主筒内，完成取样，该专利中取样装置的结构比较复杂，将主筒内的光刻胶转移至取样瓶时，容易造成光刻胶的裸露，造成光刻胶的污染。

技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种密闭式取样头，解决现有的取样装置结构复杂，容易造成光刻胶污染的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供了一种密闭式取样头，包括本体，本体的顶端设置有进液接口，进液接口的内部设置有进液通道，本体的内部设置有贯穿本体的插底管，插底管内部的通道与进液通道密封连通；本体的底端设置有取样瓶接口，插底管位于取样瓶接口的内部，取样瓶通过取样瓶接口与本体连接；本体的内部设置有气腔，气腔与取样瓶接口的进气口连通；本体上设置有排气接口，排气接口内部的排气通道与气腔连通。
7.优选的，所述本体的顶端设置有连接座一，进液接口通过连接座一与本体密封连接，插底管与连接座一密封连接。
8.优选的，所述本体的侧壁上设置有连接座二，排气接口通过连接座二与本体连接，排气通道通过连接座二内部的通道与气腔连通。
9.优选的，所述取样瓶接口内表面设置有内螺纹，取样瓶接口与取样瓶螺纹连接。
10.优选的，所述插底管的底部与取样瓶内底面的距离为5-10mm。
11.本实用新型所述的一种密闭式取样头，进液接口、本体、取样瓶接口和取样瓶之间形成密闭的取样空间，减少了光刻胶与外部环境的接触，减轻了光刻胶的污染。取样瓶内的空气通过进气口、气腔和排气通道排出，减少取样瓶内的气体含量，提高取样瓶内光刻胶的
稳定性，减少光刻胶的污染。本实用新型所述的一种密闭式取样头，具有结构简单，使用方便的优点。
12.下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
13.图1为本实用新型一种密闭式取样头实施例的正视结构示意图；
14.图2为本实用新型一种密闭式取样头实施例的侧视结构示意图。
15.附图标记
16.1、本体；2、连接座一；3、进液接口；4、进液通道；5、取样瓶接口；6、插底管；7、进气口；8、气腔；9、连接座二；10、排气接口；11、排气通道。
具体实施方式
17.以下通过附图和实施例对本实用新型的技术方案作进一步说明。
18.除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
19.实施例
20.图1为本实用新型一种密闭式取样头实施例的正视结构示意图，图2为本实用新型一种密闭式取样头实施例的侧视结构示意图。如图所示，一种密闭式取样头，包括本体1，本体1的顶端设置有连接座一2，进液接口3通过连接座一2与本体1密封连接。进液接口3的内部设置有进液通道4，本体1的内部设置有贯穿本体1的插底管6，插底管6内部的通道与进液通道4密封连通。插底管6与连接座一2密封连接。为了提高本体1、连接座一2、进液接口3和插底管6之间的密封效果，将本体1、连接座一2、进液接口3和插底管6设置为一体结构。
21.本体1的底端设置有取样瓶接口5，取样瓶通过取样瓶接口5与本体1连接。插底管6位于取样瓶接口5的内部，插底管6穿过取样瓶接口5插入取样瓶的内部。取样瓶接口5内表面设置有内螺纹，取样瓶接口5与取样瓶螺纹连接。取样瓶接口5与取样瓶之间通过螺纹连接，避免取样瓶直接暴露在空气中，减少了光刻胶的污染。
22.插底管6的底部与取样瓶内底面的距离为5-10mm。插底管6内的光刻胶液体通过插底管6的底部进入到取样品的内部，从取样品的底部开始慢慢的填充，减少了光刻胶与空气的接触。
23.取样瓶接口5的内部设置有进气口7，插底管6位于进气口7内。本体1的内部设置有气腔8，气腔8与进气口7连通。取样瓶内的空气或光刻胶挥发出的挥发性气体通过进气口7进入到气腔8中。
24.本体1上设置有排气接口10，排气接口10内部的排气通道11与气腔8连通。本体1的
侧壁上设置有连接座二9，排气接口10通过连接座二9与本体1连接，排气通道11通过连接座二9内部的通道与气腔8连通。排气接口10、连接座二9和本体1为一体结构，提高了连接座二9与排气接口10、本体1之间的密封效果。气腔8中的气体通过排气接口10排出。
25.本体1、连接座一2、进液接口3、取样瓶接口5、插底管6、连接座二9及排气接口10采用高纯的pfa材料制成，减少取样头对光刻胶的污染。
26.使用时，将取样瓶螺纹连接在取样瓶接口5上，插底管6插入到取样瓶的底端，将进液接口3与现有的设备(或管道)的放液口连接，排气接口10与现有的废气处理装置连接，光刻胶通过进液通道4和插底管6流入取样瓶内，从取样瓶的底部开始慢慢的注入，取样瓶内的空气或光刻胶的挥发性气体通过进气口7进入气腔8中，然后通过排气接口10排出取样头。光刻胶的取样过程全程密闭，降低了外部环境对光刻胶的污染和影响。
27.因此，本实用新型采用上述结构的密闭式取样头，能够解决现有的取样装置结构复杂，容易造成光刻胶污染的问题。
28.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。

技术特征：

1.一种密闭式取样头，其特征在于：包括本体，本体的顶端设置有进液接口，进液接口的内部设置有进液通道，本体的内部设置有贯穿本体的插底管，插底管内部的通道与进液通道密封连通；本体的底端设置有取样瓶接口，插底管位于取样瓶接口的内部，取样瓶通过取样瓶接口与本体连接；本体的内部设置有气腔，气腔与取样瓶接口的进气口连通；本体上设置有排气接口，排气接口内部的排气通道与气腔连通。2.根据权利要求1所述的一种密闭式取样头，其特征在于：所述本体的顶端设置有连接座一，进液接口通过连接座一与本体密封连接，插底管与连接座一密封连接。3.根据权利要求1所述的一种密闭式取样头，其特征在于：所述本体的侧壁上设置有连接座二，排气接口通过连接座二与本体连接，排气通道通过连接座二内部的通道与气腔连通。4.根据权利要求1所述的一种密闭式取样头，其特征在于：所述取样瓶接口内表面设置有内螺纹，取样瓶接口与取样瓶螺纹连接。5.根据权利要求1所述的一种密闭式取样头，其特征在于：所述插底管的底部与取样瓶内底面的距离为5-10mm。

技术总结

本实用新型公开了一种密闭式取样头，包括本体，本体的顶端设置有进液接口，进液接口的内部设置有进液通道，本体的内部设置有贯穿本体的插底管，插底管内部的通道与进液通道密封连通；本体的底端设置有取样瓶接口，插底管位于取样瓶接口的内部，取样瓶通过取样瓶接口与本体连接；本体的内部设置有气腔，气腔与取样瓶接口的进气口连通；本体上设置有排气接口，排气接口内部的排气通道与气腔连通。本实用新型采用上述结构的密闭式取样头，能够解决现有的取样装置结构复杂，容易造成光刻胶污染的问题。题。题。