一种用于形成稀土金属靶材的制备装置的制作方法



1.本实用新型涉及金属靶材制备技术领域,具体为一种用于形成稀土金属靶材的制备装置。


背景技术:



2.众所周知,金属靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,有金属类、合金类、氧化物类等等,简单说的话,例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等,更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系,金属靶材在生产加工的过程中需要使用熔炼炉将金属原料熔炼,熔炼后的金属呈液态,之后倒入压铸模具中,压铸成型;
3.常见的熔炼设备大多依靠电磁对金属进行加热,这类加热方法更加洁净,且加热效率更高,现有的电磁式熔炼炉在使用时,一般为受到调节熔炼炉的角度,来便于倒出熔炼后的液态化的金属,而在熔炼过程中,不能对熔炼炉进行固定角度,从而容易受到外界影响出现角度偏移,如受到其他物体碰撞的情况,导致熔炼炉中的金属从熔炼炉中洒出,造成一定的安全隐患。


技术实现要素:



4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于形成稀土金属靶材的制备装置。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,包括底板以及熔炼炉本体所述底板的上端对称设置第一固定座以及第二固定座,所述熔炼炉本体位于底板的上方,且位于第一固定座与第二固定座之间,所述第一固定座的内侧设有定位座,所述熔炼炉本体的一侧设有第一连接轴,所述第一连接轴的一端与定位座之间为转动结构,所述熔炼炉本体的另一侧设有第二连接轴,所述第二固定座的外侧设有电机,所述电机的输出端设有贯穿第二固定座,且连接第二连接轴的传动轴,所述熔炼炉本体的外壁上对称设置多个定位块,所述定位块上设有定位槽,所述底板的上端设有多个固定块,所述固定块分别位于熔炼炉本体的两侧,所述固定块上设有固定槽,所述固定块的上方设有固定杆,所述固定杆的底端设有位于固定槽内部的铰接轴,所述铰接轴的两端贯穿固定块,所述固定杆的顶端位于定位槽的内部,所述固定杆的外壁上设有横杆,所述底板的上方设有贯穿第二固定座以及横杆的限位杆,所述限位杆位于熔炼炉本体的两侧,所述第一固定座的内侧设有被限位杆一端贯穿的限位座,所述限位杆的另一端设有拉环。
8.为了提高电机的实用性,本实用新型的改进有,所述电机采用伺服电机。
9.为了提高熔炼炉本体在使用时的稳定性,本实用新型的改进有,所述底板的中间部分设有升降器,所述升降器的输出端设有升降杆,所述熔炼炉本体的下端设有底座,所述底座上设有底槽,所述升降杆的上端设有位于底槽内部的限位块。
10.为了提高升降器的实用性,本实用新型的改进有,所述升降器采用升降气缸。
11.为了提高熔炼炉本体在转动时的稳定性,本实用新型的改进有,所述定位座的内部设有固定轴承,所述第一连接轴远离熔炼炉本体的一端贯穿固定轴承。
12.为了提高本结构的使用寿命,本实用新型的改进有,所述定位块、固定杆、横杆以及限位杆均为金属材质。
13.(三)有益效果
14.与现有技术相比,本实用新型提供了一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,具备以下有益效果:
15.该用于形成稀土金属靶材的制备装置,通过限位杆能给横杆进行限位,从而给固定杆提供一个限位作用,使固定杆的顶端在定位槽的内部更加牢固,通过设有的多个固定杆,能在熔炼炉本体的两侧给熔炼炉本体提供一个夹持限位作用,能对熔炼炉本体进行角度的固定,使熔炼炉本体在受到外界影响时,不会出现角度偏移的情况,并且在受到其他物体碰撞的情况,通过固定杆的支撑作用,不会导致熔炼炉本体中的金属液从熔炼炉本体中洒出,进而提高了本结构在使用时的稳定性。
附图说明
16.图1为本实用新型结构示意图;
17.图2为本实用新型图1的主视图;
18.图3为本实用新型图1的俯视图;
19.图中:1、第一固定座;2、熔炼炉本体;3、定位座;4、第二连接轴;5、第一连接轴;6、电机;7、第二固定座;8、底板;9、定位块;10、定位槽;11、固定块;12、底座;13、固定杆;14、横杆;15、限位杆;16、限位座;17、拉环;18、升降器。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-3,本实用新型的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,包括底板8以及熔炼炉本体2,所述底板8的上端对称设置第一固定座1以及第二固定座7,所述熔炼炉本体2位于底板8的上方,且位于第一固定座1与第二固定座7之间,所述第一固定座1的内侧设有定位座3,所述熔炼炉本体2的一侧设有第一连接轴,所述第一连接轴的一端与定位座3之间为转动结构,所述熔炼炉本体2的另一侧设有第二连接4轴,所述第二固定座7的外侧设有电机6,所述电机6的输出端设有贯穿第二固定座7,且连接第二连接4轴的传动轴,所述熔炼炉本体2的外壁上对称设置多个定位块9,所述定位块9上设有定位槽10,所述底板8的上端设有多个固定块11,所述固定块11分别位于熔炼炉本体2的两侧,所述固定块11上设有固定槽,所述固定块11的上方设有固定杆13,所述固定杆13的底端设有位于固定槽内部的铰接轴,所述铰接轴的两端贯穿固定块11,所述固定杆13的顶端位于定位槽10的内部,所述固定杆13的外壁上设有横杆14,所述底板8的上方设有贯穿第二固定座7以及横杆14的限位杆
15,所述限位杆15位于熔炼炉本体2的两侧,所述第一固定座1的内侧设有被限位杆15一端贯穿的限位座16,所述限位杆15的另一端设有拉环17,本结构在使用时,金属原料在熔炼炉本体2的内部进行熔炼,熔炼完毕后,电机6启动,传动轴会通过第二连接4轴带动熔炼炉本体2转动,此时第一连接轴会在定位座3上转动,从而使熔炼炉本体2内的金属溶液流入到指定位置,当熔炼炉本体2在使用的过程中,如图1所示,通过限位杆15能给横杆14进行限位,从而给固定杆13提供一个限位作用,使固定杆13的顶端在定位槽10的内部更加牢固,通过设有的多个固定杆13,能在熔炼炉本体2的两侧给熔炼炉本体2提供一个夹持限位作用,能对熔炼炉本体2进行角度的固定,使熔炼炉本体2在受到外界影响时,不会出现角度偏移的情况,并且在受到其他物体碰撞的情况,通过固定杆13的支撑作用,不会导致熔炼炉本体2中的金属液从熔炼炉本体2中洒出,进而提高了本结构在使用时的稳定性;
22.在熔炼完毕后,通过拉环17将限位杆15拉出,然后通过横杆14来翻折固定杆13,此时铰接轴会在固定槽的内部转动,这时固定杆13的顶端会脱离定位槽10,结构简单,操作方便。
23.进一步的,所述电机6采用伺服电机6,伺服电机6具有稳定性强,可控性好的优点。
24.本结构在使用时,熔炼炉本体2的底端缺乏定位结构,从一定程度上也会影响到熔炼炉本体2在使用时的稳定性,所述底板8的中间部分设有升降器18,所述升降器18的输出端设有升降杆,所述熔炼炉本体2的下端设有底座12,所述底座12上设有底槽,所述升降杆的上端设有位于底槽内部的限位块,当升降器18启动后,升降杆会使限位块进入到底槽的内部,从而给熔炼炉本体2的底端提供一个定位结构,提高了熔炼炉本体2在使用时的稳定性,当熔炼炉本体2熔炼完毕后,再次启动升降器18,使限位块下降复位即可。
25.进一步的,所述升降器18采用升降气缸,升降气缸具有反应迅速,不易损坏,成本低的优点。
26.第一连接轴与定位座3之间摩擦力过大的话,会增大电机6的负荷,所述定位座3的内部设有固定轴承,所述第一连接轴远离熔炼炉本体2的一端贯穿固定轴承,通过设有的固定轴承,能减小第一连接轴与定位座3之间的摩擦力,降低了电机6在使用时的负荷。
27.定位块9、固定杆13、横杆14以及限位杆15强度太低的话,会使其自身容易损坏,就需要对其进行频繁的更换,浪费人工,所述定位块9、固定杆13、横杆14以及限位杆15均为金属材质,定位块9、固定杆13、横杆14以及限位杆15均采用不锈钢材质即可,不锈钢具有硬度高,抗腐蚀性好的优点,不易损坏。
28.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征:


1.一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,包括底板(8)以及熔炼炉本体(2),所述底板(8)的上端对称设置第一固定座(1)以及第二固定座(7),所述熔炼炉本体(2)位于底板(8)的上方,且位于第一固定座(1)与第二固定座(7)之间,所述第一固定座(1)的内侧设有定位座(3),所述熔炼炉本体(2)的一侧设有第一连接轴,所述第一连接轴的一端与定位座(3)之间为转动结构,所述熔炼炉本体(2)的另一侧设有第二连接轴(4),所述第二固定座(7)的外侧设有电机(6),所述电机(6)的输出端设有贯穿第二固定座(7),且连接第二连接轴(4)的传动轴,其特征在于:所述熔炼炉本体(2)的外壁上对称设置多个定位块(9),所述定位块(9)上设有定位槽(10),所述底板(8)的上端设有多个固定块(11),所述固定块(11)分别位于熔炼炉本体(2)的两侧,所述固定块(11)上设有固定槽,所述固定块(11)的上方设有固定杆(13),所述固定杆(13)的底端设有位于固定槽内部的铰接轴,所述铰接轴的两端贯穿固定块(11),所述固定杆(13)的顶端位于定位槽(10)的内部,所述固定杆(13)的外壁上设有横杆(14),所述底板(8)的上方设有贯穿第二固定座(7)以及横杆(14)的限位杆(15),所述限位杆(15)位于熔炼炉本体(2)的两侧,所述第一固定座(1)的内侧设有被限位杆(15)一端贯穿的限位座(16),所述限位杆(15)的另一端设有拉环(17)。2.根据权利要求1所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,其特征在于:所述电机(6)采用伺服电机(6)。3.根据权利要求2所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,其特征在于:所述底板(8)的中间部分设有升降器(18),所述升降器(18)的输出端设有升降杆,所述熔炼炉本体(2)的下端设有底座(12),所述底座(12)上设有底槽,所述升降杆的上端设有位于底槽内部的限位块。4.根据权利要求3所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,其特征在于:所述升降器(18)采用升降气缸。5.根据权利要求4所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,其特征在于:所述定位座(3)的内部设有固定轴承,所述第一连接轴远离熔炼炉本体(2)的一端贯穿固定轴承。6.根据权利要求5所述的一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,其特征在于:所述定位块(9)、固定杆(13)、横杆(14)以及限位杆(15)均为金属材质。

技术总结


本实用新型涉及金属靶材制备技术领域,具体为一种用于形成稀土金属靶材的制备装置,所述固定块的上方设有固定杆,所述固定杆的底端设有位于固定槽内部的铰接轴,所述铰接轴的两端贯穿固定块,所述固定杆的顶端位于定位槽的内部,所述固定杆的外壁上设有横杆,所述底板的上方设有贯穿第二固定座以及横杆的限位杆,通过设有的多个固定杆,能在熔炼炉本体的两侧给熔炼炉本体提供一个夹持限位作用,能对熔炼炉本体进行角度的固定,使熔炼炉本体在受到外界影响时,不会出现角度偏移的情况,并且在受到其他物体碰撞的情况,通过固定杆的支撑作用,不会导致熔炼炉本体中的金属液从熔炼炉本体中洒出,进而提高了本结构在使用时的稳定性。性。性。


技术研发人员:

赵小虎 洪精华

受保护的技术使用者:

福州市诺兴光电材料有限公司

技术研发日:

2022.11.09

技术公布日:

2023/3/28

本文发布于:2024-09-20 14:39:54,感谢您对本站的认可!

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